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公开(公告)号：CN204676144U
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201520398423.3
申请日：2015-06-10
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 用于激光镀膜的衬底夹具，它涉及一种衬底夹具。本实用新型解决了现有的用于激光镀膜的衬底夹具存在的靶材与衬底间距离不便调节，距离较近时衬底会遮挡激光脉冲的光路，距离较远激光脉冲形成的羽辉在衬底表面沉积效率较低、晶粒生长较大、均匀性变差以及现有夹具使用时间久后夹片的稳定性变差的问题。所述夹具上盖为圆柱体，夹具上盖沿其长度方向依次加工有中心通孔和中心螺纹孔，中心通孔与中心螺纹孔相互连通设置，夹具主体中的小圆柱段外侧壁上加工有外螺纹，夹具上盖与小圆柱段螺纹连接，用来固定衬底。夹具主体通过加工在夹具主体大圆柱段上的中心盲孔和三个定位销将夹具固定在激光镀膜设备上。圆台段母线与圆台底面的夹角范围为35°～55°。本实用新型的用于激光镀膜的衬底夹具用于激光镀膜衬底固定。
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