一种可切换光路工作方式的干涉仪

    公开(公告)号:CN118111323A

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202410274136.5

    申请日:2024-03-11

    Abstract: 本发明提出一种可切换光路工作方式的干涉仪,该装置包含宽谱光源模块,干涉与解调模块,传感探测模块和采集与控制模块,可通过切换干涉与解调模块中2×2光开关的相邻导通和对向导通,便捷地改变光路工作方式。通过更换传感探测模块,可将所提出的光路应用于不同场景,实现低成本的多参量测量。对于两种不同的光路工作状态,本装置采用相同的光源和传感探测模块,并且测量光斑与样品测量位置完全一致,可以将两种光路模式的测量结果在控制变量的前提下进行对比验证,或结合两种光路模式的干涉信号进行测量、实现优势互补。

    一种基于频域分析法的白光干涉信号峰间距解调方法

    公开(公告)号:CN117490560A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202311449094.6

    申请日:2023-11-02

    Abstract: 本发明公开了一种基于频域分析法的白光干涉信号峰间距解调方法,所述方法包括如下步骤:一:利用白光干涉仪采集包含多个干涉峰的时域干涉信号I;二:保留时域干涉信号I中一个目标干涉峰,将信号其余部分置为时域干涉信号的平均强度,得到信号I1;保留时域干涉信号I中另一个目标干涉峰,将信号其余部分置为时域干涉信号的平均强度,得到信号I2;三:对信号I1和I2进行傅里叶变换至频域,分别取相位并解缠绕,获得光源谱宽范围内的相频曲线φ1(k)和φ2(k),令两条相频曲线φ1(k)和φ2(k)作差得到曲线φ(k);四:根据曲线φ(k)中相位与频率的关系,计算出两个干涉峰中心条纹间距L。本发明可以有效抑制噪声对解调算法的影响,提高测量准确度,并起到简化计算流程的效果。

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