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公开(公告)号：CN119860879A
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202510082572.7
申请日：2025-01-20
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明公开了一种MEMS三维风场传感器，包括纤毛、纤毛底盘、片状探头、刚度块、固定桩、X方向扭转梁、Y方向扭转梁、Z方向扭转梁和压阻式应力传感器，其中所述纤毛固定连接于所述纤毛底盘上，所述纤毛底盘通过所述X方向扭转梁连接在所述片状探头上，所述片状探头通过所述Y方向扭转梁连接在所述刚度块上，所述刚度块通过所述Z方向扭转梁连接在所述固定桩上，其中所述X方向扭转梁、所述Y方向扭转梁和所述Z方向扭转梁上分别设有所述压阻式应力传感器，各压阻式应力传感器分别采用惠斯通桥电路式结构。本发明提出的MEMS三维风场传感器，有效地提升了传感器的感测灵敏度，可以实现三维方向感测信号解耦，而且能够使整体传感器结构集成小型化。
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