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公开(公告)号：CN118996363B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411480193.5
申请日：2024-10-23
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明主要提出一种基于HiPIMS及离子注入技术的Mo‑Ni涂层制备方法，包括将表面覆有DLC膜的工件进行清洗处理后脱水烘干；将工件置于离子注入设备真空室中，进行离子注入处理；将经步骤二处理后的工件放入磁控溅射真空室内，抽真空并进行弧光增强等离子体刻蚀清洗处理；沉积Mo/Ni防扩散层；开启磁控Ni/Mo靶源镀制涂层；关机取样；取出工件进行超声酒精清洗，烘干后放入真空袋存放。本发明综合HiPIMS及离子注入技术，以离子注入提升基底与涂层晶格及膨胀系数匹配度的方法降低膜基间内应力，使用HiPIMS技术在DLC膜上制备具有高结合力的保护性Mo‑Ni涂层，同时缓解DLC膜内应力，显著提升工件使用寿命。
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公开(公告)号：CN118996363A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411480193.5
申请日：2024-10-23
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明主要提出一种基于HiPIMS及离子注入技术的Mo‑Ni涂层制备方法，包括将表面覆有DLC膜的工件进行清洗处理后脱水烘干；将工件置于离子注入设备真空室中，进行离子注入处理；将经步骤二处理后的工件放入磁控溅射真空室内，抽真空并进行弧光增强等离子体刻蚀清洗处理；沉积Mo/Ni防扩散层；开启磁控Ni/Mo靶源镀制涂层；关机取样；取出工件进行超声酒精清洗，烘干后放入真空袋存放。本发明综合HiPIMS及离子注入技术，以离子注入提升基底与涂层晶格及膨胀系数匹配度的方法降低膜基间内应力，使用HiPIMS技术在DLC膜上制备具有高结合力的保护性Mo‑Ni涂层，同时缓解DLC膜内应力，显著提升工件使用寿命。
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公开(公告)号：CN119980230A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510472156.8
申请日：2025-04-16
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本申请涉及材料防护技术领域，特别涉及一种耐铅铋涂层及其制备方法，其中，涂层由金属结合层、功能过渡层和耐蚀层组成，其中，金属结合层由高熵合金和中熵合金复合组成，形成成分梯度过渡结构，高熵合金为Fe、Co、Ni、Cr、Al的近等原子比合金，且Al元素含量为5‑10at.%，中熵合金为FeCoNiCr系四元合金；功能过渡层为过渡金属氮化物层；耐蚀层为稀土氧化物与稳定化氧化物的共晶复合层。由此，解决了现有技术中结合强度不足、耐蚀性有限、工艺稳定性差等问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118957527B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411450626.2
申请日：2024-10-17
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明主要提出一种基于HiPIMS及离子注入技术的FeCrAlY耐磨损腐蚀涂层制备方法，包括：步骤一、将工件依次进行酸洗、清洗、漂洗及脱水烘干；步骤二、将经处理后的工件置于离子注入设备真空室中，进行离子注入处理；步骤三、将工件放入磁控溅射真空室内，进行弧光增强等离子体刻蚀清洗处理；步骤四、沉积Al打底层；步骤五、开启磁控FeCrAlY靶源进行涂层镀制；步骤六、关真空系统；步骤七、取出工件进行超声酒精清洗，烘干后放入真空袋。本发明通过HiPIMS及离子注入技术，在工件上形成FeCrAlY涂层，起到抗高温、耐磨损、耐腐蚀效果，预注入沉积的Al元素可在涂层受损时向外扩散起到自修复作用，延长使用寿命。
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公开(公告)号：CN119320933A
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202411875200.1
申请日：2024-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
IPC: C23C14/35 , C23C14/06 , C23C14/16 , C23C14/54 , G21C13/087
Abstract: 本发明涉及防护涂层技术领域，且公开了一种耐铅铋磨蚀的防护涂层及其制备方法，包括通过周期性连续改变N2气流量获得由CrN相、Cr2N相和Cr相组成的周期性循环梯度结构涂层，所述周期性循环梯度结构涂层中最底层为Cr层，中间层为CrXN层，最顶层为CrN层，CrXN层中包括45～99％的Cr和50～55％的N，所述CrXN厚度范围为0.2～0.4μm。本发明利用CrN陶瓷涂层具有Cr2N和CrN两种相的特点，在制备过程中通过合理调节通入N2气的流量变化，获得具有层状结构和高体积分数陶瓷相。该结构同时保留了高韧性和高硬度。进而使其在高温铅铋磨蚀的表面防护领域中获得优异的表现。
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公开(公告)号：CN118957527A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411450626.2
申请日：2024-10-17
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明主要提出一种基于HiPIMS及离子注入技术的FeCrAlY耐磨损腐蚀涂层制备方法，包括：步骤一、将工件依次进行酸洗、清洗、漂洗及脱水烘干；步骤二、将经处理后的工件置于离子注入设备真空室中，进行离子注入处理；步骤三、将工件放入磁控溅射真空室内，进行弧光增强等离子体刻蚀清洗处理；步骤四、沉积Al打底层；步骤五、开启磁控FeCrAlY靶源进行涂层镀制；步骤六、关真空系统；步骤七、取出工件进行超声酒精清洗，烘干后放入真空袋。本发明通过HiPIMS及离子注入技术，在工件上形成FeCrAlY涂层，起到抗高温、耐磨损、耐腐蚀效果，预注入沉积的Al元素可在涂层受损时向外扩散起到自修复作用，延长使用寿命。
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公开(公告)号：CN118600380A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410704817.0
申请日：2024-06-03
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明提供了一种介质滤波器表面金属化涂层的制备方法，包括以下步骤：沉积过程：采用高功率磁控溅射技术在介质陶瓷基体表面沉积金属层，首先，通过调节高功率磁控溅射技术的频率和脉宽将峰值电流增大，获得高密度的等离子，之后，降低介质陶瓷基体的旋转速度，在介质陶瓷基体后方增加辅助阴极，增加等离子体运动的方向性，以获得不同倾角的柱状晶。本发明的有益效果是：此方法仅需在介质陶瓷表面沉积一层Cu金属层即可，减少介质陶瓷表面金属化的制程，大大降低了生产成本，并且，不需要在制备过程中通入还原性气体，制备工艺较简单。
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公开(公告)号：CN118547257A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410704816.6
申请日：2024-06-03
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明提供了一种用于尖端结构的低应力陶瓷涂层的制备方法，包括以下步骤：沉积陶瓷涂层，通过协同调控高功率脉冲磁控溅射技术的频率、脉宽和基底偏压的手段，使轰击工件基底的等离子体密度和能量呈现交替高低的趋势，进而使工件基底处陶瓷涂层的内应力呈现拉应力和压应力的交替叠加，从而释放陶瓷涂层整体的内应力的同时，保证陶瓷涂层的致密结构和力学性能。本发明的有益效果是：通过协同调控HiPIMS频率、脉宽和基底偏压的手段，使轰击刀具刃口的等离子体密度和能量呈现交替高低的趋势，进而使使刃口处陶瓷涂层的内应力呈现拉应力和压应力的交替叠加效果，从而释放陶瓷涂层整体的内应力的同时，保证涂层的致密结构和力学性能。
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