公开(公告)号：CN117754145A

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202311871353.4

申请日：2023-12-31

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 杨立军 ,  刘亚楠 ,  丁烨 ,  王联甫

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/352 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/06

Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，控制飞秒激光器输出飞秒激光光束，通过激光偏振调整系统对所述飞秒激光光束进行准直调节；控制脉冲整形器调节所述飞秒激光光束的脉冲延时和能量比参数，以对所述飞秒激光光束进行时域整形，且通过第一激光反射镜组将经过所述脉冲整形器时域整形后的所述飞秒激光光束入射到空间光调制器上；通过所述空间光调制器对所述飞秒激光光束进行空间整形，以形成时空整形飞秒激光脉冲；调整第一激光反射镜组和第二激光反射镜组的空间角度，以将所述时空整形飞秒激光脉冲聚焦到工件的表面；控制机械快门的时间和工作平台的运动，以对所述工件进行激光加工作业。

公开(公告)号：CN117655535A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311866977.7

申请日：2023-12-31

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 杨立军 ,  刘豪 ,  丁烨 ,  刘亚楠

IPC: B23K26/352 ,  B23K26/06 ,  B23K26/062 ,  B23K26/0622

Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种基于激光光束时空调制的高效抛光方法，包括：控制飞秒激光器输出飞秒激光；调整飞秒激光光路整形系统、飞秒激光偏振调整系统，使得飞秒激光脉冲平行入射到偏振合光镜中心；调整光路调整镜组中的空间角度，使得飞秒激光聚焦到工件的表面；观察示波器上显示的双激光脉冲延时序列与设定是否相同；若示波器上显示双激光脉冲延时序列与设定相同，则移动工作台面使得工件位于加工位置；若不相同，则断开脉冲序列调制器与飞秒激光器的连接，重置延时光反射镜位移台与参考光之间的距离；本发明通过时空调制的方法，得到了具有矩形光斑的双脉冲延时激光，从而实现对加工深度的精准控制。