一种低温表面活化直接键合制备石英玻璃毛细管的方法

    公开(公告)号:CN105016632B

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201510323673.5

    申请日:2015-06-12

    Inventor: 李明雨 麦成乐

    Abstract: 本专利公开了一种低温表面活化直接键合制备石英玻璃毛细管的方法。所述方法通过湿化学法活化石英玻璃表面,采取多层玻璃堆叠直接键合的方式,在较低温度下辅以适当的压力实现石英玻璃毛细管的制备。特定尺寸的钢针被加入到模型中用于限定毛细管道的尺寸和位置,制备的毛细管孔径最小可达200μm,键合强度可达5MPa。本发明低温表面活化键合操作简单,对玻璃片表面粗糙度要求较低,而且无需洁净间以及昂贵的超高真空等离子处理设备。所述方法克服了传统方法制备毛细管道可能产生的管道塌陷,器件表面失透及内壁粗糙等问题,所制得管道内壁光滑,增大了孔道内样品的可视区域,大幅度提升芯片性能。

    一种低温表面活化直接键合制备石英玻璃毛细管的方法

    公开(公告)号:CN105016632A

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201510323673.5

    申请日:2015-06-12

    Inventor: 李明雨 麦成乐

    Abstract: 本发明公开了一种低温表面活化直接键合制备石英玻璃毛细管的方法。所述方法通过湿化学法活化石英玻璃表面,采取多层玻璃堆叠直接键合的方式,在较低温度下辅以适当的压力实现石英玻璃毛细管的制备。特定尺寸的钢针被加入到模型中用于限定毛细管道的尺寸和位置,制备的毛细管孔径最小可达200μm,键合强度可达5MPa。本发明低温表面活化键合操作简单,对玻璃片表面粗糙度要求较低,而且无需洁净间以及昂贵的超高真空等离子处理设备。所述方法克服了传统方法制备毛细管道可能产生的管道塌陷,器件表面失透及内壁粗糙等问题,所制得管道内壁光滑,增大了孔道内样品的可视区域,大幅度提升芯片性能。

    奥氏体不锈钢焊缝超声检测缺陷信号的识别方法

    公开(公告)号:CN102207490A

    公开(公告)日:2011-10-05

    申请号:CN201110052396.0

    申请日:2011-03-04

    Abstract: 奥氏体不锈钢焊缝超声检测缺陷信号的识别方法,涉及一种超声检测缺陷信号的识别方法。本发明是要解决目前奥氏体不锈钢超声检测缺陷信号难于识别的问题。具体步骤:在奥氏体不锈钢焊缝的待测点处获取一列A扫描信号a,在相邻检测点处获取另一列A扫描信号b;分别对信号a和b进行小波包分解,获得信号a和b的小波包树及各级细节;将信号a和信号b的各级细节做累乘运算,获得累乘的各级细节及相应的小波包树;对累乘的小波包树进行降噪处理,获取噪声抑制后的A扫描信号,利用该A扫描信号进行缺陷信号的识别。本发明的方法能够得到很好的噪声抑制效果,能有效克服奥氏体不锈钢焊缝缺陷难于识别及定量化测量的问题。应用于超声波检测领域。

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