公开(公告)号：CN103817563B

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201410100339.9

申请日：2014-03-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 孙智源 ,  赵清亮 ,  郭兵 ,  邹程 ,  刘晓亮

IPC: B24B1/04

Abstract: 超硬材料微结构表面的超声振动辅助抛光装置的使用方法，它涉及超声振动辅助抛光装置的使用方法。本发明要解决机械抛光方法的效率低、加工表面质量不均匀及微结构尖锐处易破坏的问题。本发明装置由精密磨床工作台、测力仪、超声振动工作台、超硬材料仿形加工工具、光学显微镜和精密磨床主轴构成。使用方法：一、磨削；二、抛光；三、依次加工所有的微槽即完成。本发明确保了磨削后的微结构形状精度及微结构表面尖锐部分不被破坏，有效的提高了超硬材料的抛光效率，并且可以高效的得到高质量的微结构表面。本发明用于超硬微结构表面精密抛光。

公开(公告)号：CN103817563A

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201410100339.9

申请日：2014-03-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 孙智源 ,  赵清亮 ,  郭兵 ,  邹程 ,  刘晓亮

IPC: B24B1/04

CPC classification number: B24B1/04

Abstract: 超硬材料微结构表面的超声振动辅助抛光装置及其使用方法，它涉及超声振动辅助抛光装置及其使用方法。本发明要解决机械抛光方法的效率低、加工表面质量不均匀及微结构尖锐处易破坏的问题。本发明装置由精密磨床工作台、测力仪、超声振动工作台、超硬材料仿形加工工具、光学显微镜和精密磨床主轴构成。使用方法：一、磨削；二、抛光；三、依次加工所有的微槽即完成。本发明确保了磨削后的微结构形状精度及微结构表面尖锐部分不被破坏，有效的提高了超硬材料的抛光效率，并且可以高效的得到高质量的微结构表面。本发明用于超硬微结构表面精密抛光。