公开(公告)号：CN117904597B

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202410065588.2

申请日：2024-01-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴晓宏 ,  胡玉莲 ,  康红军 ,  李杨 ,  卢松涛 ,  秦伟 ,  洪杨

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56 ,  H10F77/30 ,  H10F71/00 ,  H02S40/10

Abstract: 本发明公开了一种超疏水自清洁透明超薄涂层及其制备方法和应用，属于功能材料制备技术领域。本发明首先利用原子层沉积技术在基底表面制备一层Al2O3薄膜，然后采用刻蚀方法在Al2O3涂层表面构筑针形阵列微纳结构，在利用ALD技术构筑ZnO涂层实现针形阵列的加固与保护，提高涂层的耐候性和坚固性，最后为了进一步降低涂层表面能，降低灰尘颗粒的粘附性，使用全氟癸基三乙氧基硅烷进行低表面能改性，制备出具有优异超疏水防尘性能和耐候性兼具的Al2O3/ZnO自清洁涂层。此外，本发明提供的制备方法具有工艺简单，原料易得，成本低廉的优点。

公开(公告)号：CN117904597A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202410065588.2

申请日：2024-01-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴晓宏 ,  胡玉莲 ,  康红军 ,  李杨 ,  卢松涛 ,  秦伟 ,  洪杨

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56 ,  H01L31/0216 ,  H02S40/10 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种超疏水自清洁透明超薄涂层及其制备方法和应用，属于功能材料制备技术领域。本发明首先利用原子层沉积技术在基底表面制备一层Al2O3薄膜，然后采用刻蚀方法在Al2O3涂层表面构筑针形阵列微纳结构，在利用ALD技术构筑ZnO涂层实现针形阵列的加固与保护，提高涂层的耐候性和坚固性，最后为了进一步降低涂层表面能，降低灰尘颗粒的粘附性，使用全氟癸基三乙氧基硅烷进行低表面能改性，制备出具有优异超疏水防尘性能和耐候性兼具的Al2O3/ZnO自清洁涂层。此外，本发明提供的制备方法具有工艺简单，原料易得，成本低廉的优点。