公开(公告)号：CN108267815B

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201810132603.5

申请日：2018-02-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 丁卫强 ,  刘正君 ,  耿勇 ,  谭久彬

IPC: G02B6/293

Abstract: 一种基于波导与谐振腔耦合的微纳光学马达及其驱动方法，属于微光机械技术领域。本发明方法提出了一种新的能够产生巨大光力矩的微光学马达结构。首先通过波导和环形谐振腔之间的光学耦合作用产生的力矩作用到了环形谐振腔上，通过给环形谐振腔设定一个中心转轴，利用中心转轴连接所要旋转的微纳结构，如微纳米齿轮，微纳米棒或微纳米球，从而间接地实现了光致旋转。本发明方法具有较大的创新之处，打破了传统方法中照明光束直接与微纳结构相互作用的种种限制。

公开(公告)号：CN108267815A

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201810132603.5

申请日：2018-02-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 丁卫强 ,  刘正君 ,  耿勇 ,  谭久彬

IPC: G02B6/293

Abstract: 一种基于波导与谐振腔耦合的微纳光学马达及其驱动方法，属于微光机械技术领域。本发明方法提出了一种新的能够产生巨大光力矩的微光学马达结构。首先通过波导和环形谐振腔之间的光学耦合作用产生的力矩作用到了环形谐振腔上，通过给环形谐振腔设定一个中心转轴，利用中心转轴连接所要旋转的微纳结构，如微纳米齿轮，微纳米棒或微纳米球，从而间接地实现了光致旋转。本发明方法具有较大的创新之处，打破了传统方法中照明光束直接与微纳结构相互作用的种种限制。