正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器

    公开(公告)号:CN102589422B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201110456022.5

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器属于传感器;在装配台上依次安装第一、二、三、四、五、六、七连接架,四维调整架、分光镜、折反式长焦系统A、折反式长焦系统B、五维调整架、光电接收器B、光电接收器A分别装配在第一、二、三、四、五、六、七连接架上,在四维调整架上装配激光光源,在五维调整架上安装带有光纤探针测头的光纤探针测杆,数据传输线将光电接收器A和光电接收器B分别与数据采集处理器连接;本传感器具有二维传感信息零耦合、能进行二维方向探测、测力小、易小型化、测量深径比大、实时性好、易应用的特点,在对微内尺寸和三维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。

    基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置及方法

    公开(公告)号:CN102564309A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201110456011.7

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置及方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;该装置由用于产生瞄准信号的瞄准及发讯装置、用于在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微孔移动距离的测长装置和用于对整个测量装置的测量过程进行控制的计算机组成,该方法通过不断将工作台沿与测长方向垂直的方向上移动,并沿测量线方向移动工作台,获得探针相对于被测微孔的最大位移量,从而得出被测微孔直径,本发明大幅度提高了瞄准及发讯装置对环境的适应能力,具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点,在对微孔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。

    基于光纤布拉格光栅的接触式温度无感三维探测传感器

    公开(公告)号:CN102589439B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201110456051.1

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 基于光纤布拉格光栅的接触式温度无感三维探测传感器属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;该传感器包括由泵浦激光器、WDM耦合器、掺铒光纤和分束器组成的宽频光源系统、由EDFA、第一环形器、导管、参考FBG和光纤阻隔器组成的温度补偿系统、探针和由光谱分析仪、光纤耦合器和折射率匹配液组成的信号接收系统装配构成,温度补偿系统的参考FBG放置在探针空间距离30cm内,本发明实现了三维传感,大幅度提高了传感器对环境的适应能力,具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点,在对微小内腔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。

    基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置

    公开(公告)号:CN102564309B

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201110456011.7

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置及方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;该装置由用于产生瞄准信号的瞄准及发讯装置、用于在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微孔移动距离的测长装置和用于对整个测量装置的测量过程进行控制的计算机组成,该方法通过不断将工作台沿与测长方向垂直的方向上移动,并沿测量线方向移动工作台,获得探针相对于被测微孔的最大位移量,从而得出被测微孔直径,本发明大幅度提高了瞄准及发讯装置对环境的适应能力,具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点,在对微孔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。

    正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器

    公开(公告)号:CN102589422A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201110456022.5

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器属于传感器;在装配台上依次安装第一、二、三、四、五、六、七连接架,四维调整架、分光镜、折反式长焦系统A、折反式长焦系统B、五维调整架、光电接收器B、光电接收器A分别装配在第一、二、三、四、五、六、七连接架上,在四维调整架上装配激光光源,在五维调整架上安装带有光纤探针测头的光纤探针测杆,数据传输线将光电接收器A和光电接收器B分别与数据采集处理器连接;本传感器具有二维传感信息零耦合、能进行二维方向探测、测力小、易小型化、测量深径比大、实时性好、易应用的特点,在对微内尺寸和三维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。

    基于正交二维微焦准直的微孔测量装置与方法

    公开(公告)号:CN102519370B

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201110438936.9

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 基于正交二维微焦准直的微孔测量装置与方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;支撑底座上装配两个支撑架,支撑架上装配横梁,支撑底座的凹槽内装配Z向运动部件,Z向测长装置装配在Z向运动部件的侧面,工作台固定在Z向运动部件的上方,Y向测长装置装配在工作台的内部,测量传感器固定吊挂在横梁的中间位置上,X向测长装置位于支撑底座的左侧位置,其平面反射镜固定装配在测量传感器的左侧,通过数据线依次将测量传感器、X、Y、Z向测长装置与计算机相连,该方法将工作台在指定测量方向的垂直方向上不断移动,反复测量得到的两触测点间的距离的最大值即为被测微孔直径,本发明具有传感零耦合、能进行方向探测、测力小等特点。

    基于光纤布拉格光栅的接触式温度无感三维探测传感器

    公开(公告)号:CN102589439A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201110456051.1

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 基于光纤布拉格光栅的接触式温度无感三维探测传感器属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;该传感器包括由泵浦激光器、WDM耦合器、掺铒光纤和分束器组成的宽频光源系统、由EDFA、第一环形器、导管、参考FBG和光纤阻隔器组成的温度补偿系统、探针和由光谱分析仪、光纤耦合器和折射率匹配液组成的信号接收系统装配构成,温度补偿系统的参考FBG放置在探针空间距离30cm内,本发明实现了三维传感,大幅度提高了传感器对环境的适应能力,具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点,在对微小内腔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。

    基于正交二维微焦准直的微孔测量装置与方法

    公开(公告)号:CN102519370A

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN201110438936.9

    申请日:2011-12-16

    Abstract: 基于正交二维微焦准直的微孔测量装置与方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;支撑底座上装配两个支撑架,支撑架上装配横梁,支撑底座的凹槽内装配Z向运动部件,Z向测长装置装配在Z向运动部件的侧面,工作台固定在Z向运动部件的上方,Y向测长装置装配在工作台的内部,测量传感器固定吊挂在横梁的中间位置上,X向测长装置位于支撑底座的左侧位置,其平面反射镜固定装配在测量传感器的左侧,通过数据线依次将测量传感器、X、Y、Z向测长装置与计算机相连,该方法将工作台在指定测量方向的垂直方向上不断移动,反复测量得到的两触测点间的距离的最大值即为被测微孔直径,本发明具有传感零耦合、能进行方向探测、测力小等特点。

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