公开(公告)号：CN106067413A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610351354.X

申请日：2016-05-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 高云智 ,  李灿 ,  屈云腾 ,  朱景植 ,  王龙 ,  尹鸽平

IPC: H01J49/04

CPC classification number: H01J49/04

Abstract: 用于调节电极与原位电化学质谱进样口距离的控制装置及控制方法，涉及一种控制工作电极与采样窗口构件距离的装置。为了解决现有调节工作电极与采样窗口构件的距离的方法误差大的问题。装置包括：粗动调节机构下方的顶端与微动调节机构固定连接，微动调节机构的下部顶端与工作电极固定连接，串联的粗动调节机构和微动调节机构的双控制调节方式调控工作电极上下移动。方法包括：步骤一：通过粗动调节机构调动距离，先使工作电极与质谱进样口之间距离控制在测微螺杆精度10微米之内；步骤二：驱动压电陶瓷管，使工作电极与质谱进样口之间的距离控制在微米级别。通过上述双控制调节方式，可以将调控距离误差控制在微动调节机构的误差范围之内。