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发明公开
放电等离子体极紫外线光源中的主脉冲电源无效

公开(公告)号：CN101860255A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN201010140692.1

申请日：2010-04-07

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张潮海 , 刘春芳 , 吕鹏 , 刘卫星 , 张子敬

IPC: H02M9/06 , H05H1/24

Abstract: 放电等离子体极紫外线光源中的主脉冲电源，具体涉及一种用于极紫外光刻光源的电源，解决了目前无法基于放电等离子体技术实现极紫外线光源的电源这一问题。本发明所述的主脉冲电源由初级充电部分、储能及脉冲形成部分、脉冲压缩部分和毛细管放电单元组成，电网的三相电压输出端的三端分别与初级充电部分的三相电压输入端的三端相连，初级充电部分的电压输出端与储能及脉冲形成部分的电压输入端相连，储能及脉冲形成部分的电压输出端与脉冲压缩部分的电压输入端相连，脉冲压缩部分的脉冲输出端与毛细管放电单元的脉冲输入端相连。本发明基于等离子体技术将极紫外线光源中的主脉冲电源进行实现，用于极紫外光刻技术。

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