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公开(公告)号：CN119803308A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510002579.3
申请日：2025-01-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于沃拉斯顿棱镜和四象限探测器的二轴零差光栅干涉位移测量方法及其系统，属于光栅干涉位移测量领域，适用于水平和垂直位移同步测量的二轴零差光栅干涉位移测量。用于解决现有技术在二轴零差光栅干涉位移测量场合存在的，沃拉斯顿棱镜(WP)与四象限探测器(QPD)不适配的问题。本发明通过旋转光路的某个器件或光束的偏振方向，使得双光束光轴连线方向与沃拉斯顿棱镜分界面法方向垂直，此时双光束通过沃拉斯顿棱镜形成正方形分布的四个光斑，不仅解决了双轴平行光与旋转沃拉斯顿棱镜存在的光程不匹配问题，又实现了四象限探测器四个像元的有效利用。
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