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公开(公告)号：CN103111855A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310052562.6
申请日：2013-02-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q1/38
CPC classification number: F16C32/0696 , F16C2300/14 , F16C2322/39
Abstract: 一种大径高比超精密液体静压转台，属于超精密制造装备技术领域。以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床要求。上、下浮节流器安装于上、下浮止推板上，上浮止推板与转台底座固接，下浮止推板通过内隔环与转台底座固接，下浮止推板置于上浮板的环形槽内，径向轴瓦通过下浮止推板和内隔环与转台底座固接，主轴与上浮板固接，液压油经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮液体静压止推油膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推油膜，在径向轴瓦和主轴之间形成径向静压支承油膜，从而形成轴向闭式液体静压平面圆环止推轴承和径向液体静压圆柱轴承。本发明用于加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床。
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公开(公告)号：CN103056397A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210589483.4
申请日：2012-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大直径超精密气体静压回转轴系，属于超精密制造装备技术领域。以满足大尺寸KDP晶体等光学元件加工需求。数个上、下浮节流器圆周均布安装于上、下浮止推板上，上浮板与下浮板固接，下浮止推板与固定支承座固接，上浮止推板通过内隔环与固定支承座固接，上浮止推板和连接板置于下浮板的外、内环形槽内，径向轴瓦通过连接板和内隔套与固定支承座固接，主轴与下浮板固接，压缩空气经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮静压止推气膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推气膜，在径向轴瓦与主轴之间形成径向静压支承气膜，从而形成轴向闭式气体静压平面圆环止推轴承和径向气体静压圆柱轴承。本发明用于大尺寸KDP晶体等光学元件加工。
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公开(公告)号：CN103111855B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201310052562.6
申请日：2013-02-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q1/38
CPC classification number: F16C32/0696 , F16C2300/14 , F16C2322/39
Abstract: 一种大径高比超精密液体静压转台，属于超精密制造装备技术领域。以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床要求。上、下浮节流器安装于上、下浮止推板上，上浮止推板与转台底座固接，下浮止推板通过内隔环与转台底座固接，下浮止推板置于上浮板的环形槽内，径向轴瓦通过下浮止推板和内隔环与转台底座固接，主轴与上浮板固接，液压油经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮液体静压止推油膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推油膜，在径向轴瓦和主轴之间形成径向静压支承油膜，从而形成轴向闭式液体静压平面圆环止推轴承和径向液体静压圆柱轴承。本发明用于加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床。
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公开(公告)号：CN103056397B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201210589483.4
申请日：2012-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大直径超精密气体静压回转轴系，属于超精密制造装备技术领域。以满足大尺寸KDP晶体等光学元件加工需求。数个上、下浮节流器圆周均布安装于上、下浮止推板上，上浮板与下浮板固接，下浮止推板与固定支承座固接，上浮止推板通过内隔环与固定支承座固接，上浮止推板和连接板置于下浮板的外、内环形槽内，径向轴瓦通过连接板和内隔套与固定支承座固接，主轴与下浮板固接，压缩空气经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮静压止推气膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推气膜，在径向轴瓦与主轴之间形成径向静压支承气膜，从而形成轴向闭式气体静压平面圆环止推轴承和径向气体静压圆柱轴承。本发明用于大尺寸KDP晶体等光学元件加工。
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