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发明公开
一种原子力显微镜氮化硅探针的清洗方法无效

公开(公告)号：CN109570135A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811435091.6

申请日：2018-11-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张丹 , 甘阳 , 刘言 , 张飞虎

IPC: B08B3/12 , B08B7/00 , G01Q30/00

Abstract: 一种原子力显微镜氮化硅探针的清洗方法，本发明涉及一种原子力显微镜氮化硅探针的清洗方法。本发明的目的是为了解决目前原子力显微镜氮化硅探针的表面污染物难以有效去除的问题，方法为：将原子力显微镜氮化硅探针依次置于不同溶液中超声清洗，氮气吹干，再用空气等离子体清洗器进一步清洗，即得干净无损的探针。本发明能有效去除探针表面的颗粒和有机污染物，重复性好，且过程安全、无污染。本发明属于原子力显微镜探针的清洗领域。

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