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公开(公告)号:CN119147016A
公开(公告)日:2024-12-17
申请号:CN202411332305.2
申请日:2024-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种适用于高温环境下测量的二维电阻型传感器阵列,属于传感器技术领域,电阻型传感器阵列包括基底、阵列电路及绝缘保护层,阵列电路包括正面传感器阵列及背面接线端电路,正面传感器阵列包括横向导线、纵向导线、传感器单元及节点绝缘层,传感器单元为双电极传感器,其两端电极分别与横向导线和纵向导线连接,节点绝缘层用于横向导线与纵向导线交叉部位绝缘,电阻型传感器阵列均为厚膜或者薄膜电路;本发明能够在测量大量的二维分布物理参数场的同时大量减少外部连接端口的数量,其制作材料和封装工艺可以实现对各种高温、高压、高振动恶劣环境下的测量,并最大限度的减少对被测对象侵入所造成的影响。