公开(公告)号：CN1648725A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN200510002295.7

申请日：2005-01-20

申请人： 周星工程股份有限公司

发明人： 黄喆周 ,  李相道

IPC分类号： G02F1/133

CPC分类号： C23C16/4585 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68778

摘要： 一种设备，其包括：一个用于处理一个基板的处理腔、一个在所述处理腔中的基座、一个在所述基座上方的支撑框架和连接到所述支撑框架的至少一条线。

公开(公告)号：CN100478745C

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200510002295.7

申请日：2005-01-20

申请人： 周星工程股份有限公司

发明人： 黄喆周 ,  李相道

IPC分类号： G02F1/133 ,  C23C16/00

CPC分类号： C23C16/4585 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68778

摘要： 一种设备，其包括：一个用于处理一个基板的处理腔、一个在所述处理腔中的基座、一个在所述基座上方的支撑框架和连接到所述支撑框架的至少一条线。