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发明公开
光学超表面级联集成装置、超表面加工系统及集成方法审中-实审

公开(公告)号：CN118744405A

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202410646871.4

申请日：2024-05-23

申请人： 启元实验室

发明人： 董星辰 , 范静涛 , 程基超 , 马俊宇

IPC分类号： B25B11/00 , B32B37/12 , B32B38/18

摘要： 本发明涉及光学超表面加工技术领域，具体涉及光学超表面级联集成装置、超表面加工系统及集成方法。一种光学超表面级联集成装置，包括：至少两个吸附机构，包括第一吸附机构和第二吸附机构；第一吸附机构设有第一多轴位移台，第一多轴位移台适于吸附第一超表面；第二吸附机构设有第二多轴位移台，第二多轴位移台适于吸附第二超表面；第一观察机构，第一观察机构适于对第一超表面或第二超表面进行找平，在第一状态下，第一观察机构和第一超表面对应且间隔设置，在第二状态下，第二超表面位于第一超表面与第一观察机构之间，第一观察机构与第二超表面间隔且对应设置。本发明解决不同超表面的平行的对准方法存在对准误差大问题。