公开(公告)号：CN119152993A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202411144212.7

申请日：2024-08-20

Applicant: 同济大学

Inventor： 黄秋实 ,  王占山 ,  温圣优 ,  伊哥·科谢夫尼可夫 ,  蒋励 ,  张众 ,  张哲 ,  黄思怡

IPC: G16C60/00 ,  G16C20/20 ,  G06F30/20 ,  G06F111/10

Abstract: 本发明涉及一种X射线掠入射宽光谱多层膜结构设计方法，包括以下步骤：基于耦合波理论，考虑材料对X射线的吸收特性，建立X射线非周期多层膜结构解析理论；确定非周期多层膜结构的材料、膜对数及膜厚范围及目标反射率，获取非周期多层膜结构近似解；建立评价函数，以所述近似解作为初始结构，进行数值计算优化，得到具有目标反射率曲线的多层膜结构；选取匹配优化后多层膜结构的闪耀光栅结构参数，得到具有宽光谱高效率的掠入射多层膜闪耀光栅。与现有技术相比，本发明通过解析理论结合数值计算的方式，解决从目标反射率到非周期多层膜结构的逆问题，获得具有目标光谱反射率响应分布下高反射率性能的多层膜结构和宽光谱高衍射效率的多层膜光栅。