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公开(公告)号：CN102681055B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201210172142.7
申请日：2012-05-30
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/锆周期多层膜，其中硅铝合金/锆周期多层膜是硅铝合金薄膜层和锆薄膜层交替沉积于基底表面上。本发明与现有的Al基多层膜相比，硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜引入了化学性质和物理性质更为稳定的硅铝合金代替纯硅，在没有较大改变铝材料光学性能的基础上，抑制了Al膜层的结晶，改善了多层膜的界面，在保证较高的光谱分辨率的前提下，提升了反射镜的反射率。本发明提出的这种新型的硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、易于制作、光学性能满足需求等优势，更适于对能谱分辨率和反射率要求均很高的极紫外光学系统。
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公开(公告)号：CN102681055A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210172142.7
申请日：2012-05-30
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/锆周期多层膜，其中硅铝合金/锆周期多层膜是硅铝合金薄膜层和锆薄膜层交替沉积于基底表面上。本发明与现有的Al基多层膜相比，硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜引入了化学性质和物理性质更为稳定的硅铝合金代替纯硅，在没有较大改变铝材料光学性能的基础上，抑制了Al膜层的结晶，改善了多层膜的界面，在保证较高的光谱分辨率的前提下，提升了反射镜的反射率。本发明提出的这种新型的硅铝合金/锆极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、易于制作、光学性能满足需求等优势，更适于对能谱分辨率和反射率要求均很高的极紫外光学系统。
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公开(公告)号：CN103048712B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201310009896.5
申请日：2013-01-10
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法，，该反射镜包括基底、硅铝合金薄膜层及锆薄膜层，硅铝合金薄膜层和锆薄膜层依次交替的沉积在基底上，直至最上层为锆薄膜层，硅铝合金薄膜层及锆薄膜层分别设有35～40层，硅铝合金薄膜层共分为五层，从上到下依次为：硅铝合金超薄膜层、硅超薄膜层、硅铝合金超薄膜层、硅超薄膜层及硅铝合金超薄膜层；制作方法包括以下步骤：首先对基底进行清洗，然后采用直流磁控溅射方法在基底上依次镀制硅铝合金薄膜层和锆薄膜层。与现有技术相比，本发明制备的极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、光学性能满足需求等优势，更适于对反射率要求较高的极紫外光学系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102520470A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110425986.3
申请日：2011-12-19
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明属于精密光学元件制作技术领域，公开了一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的反射镜包括基底(1)和硬铝/碳化硅周期多层膜(2)，硬铝薄膜层(3)和碳化硅薄膜层(4)交替沉积于基底(1)表面上。本发明的反射镜制备方法如下：首先对基底(1)进行清洗，然后在基底(1)上镀制硬铝/碳化硅周期多层膜(2)。本发明的反射镜克服了传统的铝/碳化硅多层膜界面粗糙度和膜层材料相互渗透较大等缺点，降低了制作工艺难度，并将金属材料的价格降低了2个数量级；这种新型的硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、易于制作、价格便宜、光学性能满足需求等优势，更适于实现此类产品的产业化。
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公开(公告)号：CN103076644A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201310006877.7
申请日：2013-01-09
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜，其中硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜是硅铝合金薄膜层、硅薄膜层、锆薄膜层和硅薄膜层交替沉积于基底表面上。本发明与现有的铝基多层膜相比，通过在硅铝合金/锆膜层之间引入纳米厚度的硅薄膜层，抑制了硅铝合金与锆膜层之间的相互扩散，改善了多层膜的界面，有效提升了反射镜的反射率。本发明提出的这种新型的硅铝/硅/锆/硅极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、光学性能满足需求等优势，适用于对能谱分辨率和反射率要求均很高的极紫外光学系统。
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公开(公告)号：CN103076644B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201310006877.7
申请日：2013-01-09
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜，其中硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜是硅铝合金薄膜层、硅薄膜层、锆薄膜层和硅薄膜层交替沉积于基底表面上。本发明与现有的铝基多层膜相比，通过在硅铝合金/锆膜层之间引入纳米厚度的硅薄膜层，抑制了硅铝合金与锆膜层之间的相互扩散，改善了多层膜的界面，有效提升了反射镜的反射率。本发明提出的这种新型的硅铝/硅/锆/硅极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、光学性能满足需求等优势，适用于对能谱分辨率和反射率要求均很高的极紫外光学系统。
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公开(公告)号：CN102520470B
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201110425986.3
申请日：2011-12-19
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明属于精密光学元件制作技术领域，公开了一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的反射镜包括基底(1)和硬铝/碳化硅周期多层膜(2)，硬铝薄膜层(3)和碳化硅薄膜层(4)交替沉积于基底(1)表面上。本发明的反射镜制备方法如下：首先对基底(1)进行清洗，然后在基底(1)上镀制硬铝/碳化硅周期多层膜(2)。本发明的反射镜克服了传统的铝/碳化硅多层膜界面粗糙度和膜层材料相互渗透较大等缺点，降低了制作工艺难度，并将金属材料的价格降低了2个数量级；这种新型的硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、易于制作、价格便宜、光学性能满足需求等优势，更适于实现此类产品的产业化。
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公开(公告)号：CN103048712A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201310009896.5
申请日：2013-01-10
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法，该反射镜包括基底、硅铝合金薄膜层及锆薄膜层，硅铝合金薄膜层和锆薄膜层依次交替的沉积在基底上，直至最上层为锆薄膜层，硅铝合金薄膜层及锆薄膜层分别设有35～40层，硅铝合金薄膜层共分为五层，从上到下依次为：硅铝合金超薄膜层、硅超薄膜层、硅铝合金超薄膜层、硅超薄膜层及硅铝合金超薄膜层；制作方法包括以下步骤：首先对基底进行清洗，然后采用直流磁控溅射方法在基底上依次镀制硅铝合金薄膜层和锆薄膜层。与现有技术相比，本发明制备的极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、光学性能满足需求等优势，更适于对反射率要求较高的极紫外光学系统。
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