公开(公告)号：CN104698520A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201510078918.2

申请日：2015-02-13

Applicant: 同济大学

Inventor： 王占山 ,  黄秋实 ,  杨笑微 ,  伊葛·科谢尼可夫

IPC: G02B5/18

CPC classification number: G02B5/1861 ,  G02B5/1857

Abstract: 本发明涉及一种X射线层状多层膜闪耀光栅结构及其制作方法，所述层状多层膜闪耀光栅结构包括闪耀光栅基底，所述闪耀光栅基底上设置有周期性分布的锯齿结构，形成的光栅周期为D，各锯齿结构均包括闪耀面和反闪耀面，所述闪耀面的中心区域镀制有多层膜堆。与现有技术相比，本发明克服了传统多层膜闪耀光栅(BMG)和层状多层膜光栅(LMG)的缺点；相比BMG解决了其在反闪耀面附近非复形生长区域膜层吸收大，导致实际衍射效率远低于理论值的问题；相比LMG，多层膜的倾角使其能在高级次获得极高的衍射效率。本发明能同时获得高效率和分辨率，可作为高精度X射线光谱测量的关键元件。

公开(公告)号：CN105700134B

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201610216319.7

申请日：2016-04-08

Applicant: 同济大学

Inventor： 王占山 ,  黄秋实 ,  杨笑微 ,  蒋励

IPC: G02B27/00 ,  G02B5/18

Abstract: 本发明涉及一种X射线宽光谱多层膜闪耀光栅设计方法，该方法包括以下步骤：1)确定宽光谱多层膜闪耀光栅的非周期多层膜结构的材料和膜对数，建立评价函数，以多层膜膜厚度变化最小和效率曲线平坦为优化目标，获取非周期多层膜结构中每一膜层的厚度；2)根据目标光谱波长范围和步骤1)中获得的非周期多层膜结构，选取闪耀光栅最优结构参数，使得到的宽光谱多层膜闪耀光栅在目标光谱波长范围内不同波长位置的衍射效率都达到最大，接近多层膜反射率。与现有技术相比，本发明方法设计的多层膜闪耀光栅膜层厚度变化小，制备简单，在目标光谱范围内理论上可以实现最高衍射效率的平坦响应。

公开(公告)号：CN104698520B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201510078918.2

申请日：2015-02-13

Applicant: 同济大学

Inventor： 王占山 ,  黄秋实 ,  杨笑微 ,  伊葛·科谢尼可夫

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明涉及一种X射线层状多层膜闪耀光栅结构及其制作方法，所述层状多层膜闪耀光栅结构包括闪耀光栅基底，所述闪耀光栅基底上设置有周期性分布的锯齿结构，形成的光栅周期为D，各锯齿结构均包括闪耀面和反闪耀面，所述闪耀面的中心区域镀制有多层膜堆。与现有技术相比，本发明克服了传统多层膜闪耀光栅(BMG)和层状多层膜光栅(LMG)的缺点；相比BMG解决了其在反闪耀面附近非复形生长区域膜层吸收大，导致实际衍射效率远低于理论值的问题；相比LMG，多层膜的倾角使其能在高级次获得极高的衍射效率。本发明能同时获得高效率和分辨率，可作为高精度X射线光谱测量的关键元件。

公开(公告)号：CN105700134A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201610216319.7

申请日：2016-04-08

Applicant: 同济大学

Inventor： 王占山 ,  黄秋实 ,  杨笑微 ,  蒋励

IPC: G02B27/00 ,  G02B5/18

CPC classification number: G02B27/0012 ,  G02B5/18

Abstract: 本发明涉及一种X射线宽光谱多层膜闪耀光栅设计方法，该方法包括以下步骤：1)确定宽光谱多层膜闪耀光栅的非周期多层膜结构的材料和膜对数，建立评价函数，以多层膜膜厚度变化最小和效率曲线平坦为优化目标，获取非周期多层膜结构中每一膜层的厚度；2)根据目标光谱波长范围和步骤1)中获得的非周期多层膜结构，选取闪耀光栅最优结构参数，使得到的宽光谱多层膜闪耀光栅在目标光谱波长范围内不同波长位置的衍射效率都达到最大，接近多层膜反射率。与现有技术相比，本发明方法设计的多层膜闪耀光栅膜层厚度变化小，制备简单，在目标光谱范围内理论上可以实现最高衍射效率的平坦响应。