公开(公告)号：CN107142456A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201710247265.5

申请日：2017-04-17

Applicant: 同济大学

Inventor： 王占山 ,  黄秋实 ,  齐润泽 ,  张众 ,  慈连鳌

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/50

CPC classification number: C23C14/352 ,  C23C14/505

Abstract: 本发明涉及一种双功能柱对称大尺寸高均匀性线型磁控靶镀膜设备。该设备在圆形真空腔中心安放用于夹持凸形柱面镜的转动轴，在外围安装用于安放凹形柱面镜的转动圆环，在转动圆环和转动轴之间安放竖直摆放的线型磁控溅射靶枪，靶枪前安放有可以旋转的气动挡板。通过改变靶枪朝向和调整靶枪在真空腔内的径向位置，可使靶枪分别指向转动圆环和转动轴，并对安装在转动圆环上的凹形柱面镜或者是安装在转动轴上的凸形柱面镜进行镀制。通过改变靶枪前的气动挡板的开关以及转动圆环和转动轴的转动速率完成对薄膜制备工艺的控制。

公开(公告)号：CN107142456B

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201710247265.5

申请日：2017-04-17

Applicant: 同济大学

Inventor： 王占山 ,  黄秋实 ,  齐润泽 ,  张众 ,  慈连鳌

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/50

Abstract: 本发明涉及一种双功能柱对称大尺寸高均匀性线型磁控靶镀膜设备。该设备在圆形真空腔中心安放用于夹持凸形柱面镜的转动轴，在外围安装用于安放凹形柱面镜的转动圆环，在转动圆环和转动轴之间安放竖直摆放的线型磁控溅射靶枪，靶枪前安放有可以旋转的气动挡板。通过改变靶枪朝向和调整靶枪在真空腔内的径向位置，可使靶枪分别指向转动圆环和转动轴，并对安装在转动圆环上的凹形柱面镜或者是安装在转动轴上的凸形柱面镜进行镀制。通过改变靶枪前的气动挡板的开关以及转动圆环和转动轴的转动速率完成对薄膜制备工艺的控制。