公开(公告)号：CN114296183B

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202210019809.3

申请日：2022-01-10

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王希斌 ,  廉天航 ,  林柏竹 ,  孙士杰 ,  朱穆 ,  郭昭宁 ,  张大明

IPC: G02B6/12

Abstract: 一种基于模式可选择调制的聚合物波导光开关及其制备方法，属于集成光电子器件领域。由衬底、聚合物下包层、矩形结构的光波导芯层、聚合物上包层和石墨烯电容器组成，或由衬底、聚合物下包层、矩形结构的光波导芯层、台阶结构的聚合物上包层、光波导芯层中心位置制备的第一石墨烯电容器、聚合物上包层中在第一石墨烯电容器的正上方位置制备的第三石墨烯电容器、在第一石墨烯电容器的左右两边制备的第二石墨烯电容器和第四石墨烯电容器组成。本发明以石墨烯作为调制电极并将其掩埋在波导内部的不同位置，充分发挥了有机聚合物材料加工工艺简单、灵活的优势。本发明方法与半导体工艺兼容、易于集成、适于大规模生产，因而具有重要的实际应用价值。

公开(公告)号：CN114296183A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202210019809.3

申请日：2022-01-10

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王希斌 ,  廉天航 ,  林柏竹 ,  孙士杰 ,  朱穆 ,  郭昭宁 ,  张大明

IPC: G02B6/12

Abstract: 一种基于模式可选择调制的聚合物波导光开关及其制备方法，属于集成光电子器件领域。由衬底、聚合物下包层、矩形结构的光波导芯层、聚合物上包层和石墨烯电容器组成，或由衬底、聚合物下包层、矩形结构的光波导芯层、台阶结构的聚合物上包层、光波导芯层中心位置制备的第一石墨烯电容器、聚合物上包层中在第一石墨烯电容器的正上方位置制备的第三石墨烯电容器、在第一石墨烯电容器的左右两边制备的第二石墨烯电容器和第四石墨烯电容器组成。本发明以石墨烯作为调制电极并将其掩埋在波导内部的不同位置，充分发挥了有机聚合物材料加工工艺简单、灵活的优势。本发明方法与半导体工艺兼容、易于集成、适于大规模生产，因而具有重要的实际应用价值。