公开(公告)号：CN101364702A

公开(公告)日：2009-02-11

申请号：CN200810051076.1

申请日：2008-08-15

Applicant: 吉林大学

Inventor： 张丹 ,  张大明 ,  陈聪 ,  孙小强 ,  甄珍 ,  薄淑辉

IPC: H01S3/067 ,  H04B10/17 ,  G03F7/00 ,  G03F1/00

Abstract: 本发明具体涉及采用新型有机聚合物材料为光波导包层，采用油酸表面修饰的LaF3∶Er，Yb纳米颗粒掺杂的有机－无机杂化材料为芯层的条形光波导放大器及其制备方法。其依次由硅衬底、下包层、芯层和上包层组成，下包层和上包层是有机聚合物材料，芯层是油酸表面修饰的LaF3∶Er，Yb纳米颗粒掺杂的有机－无机复合型材料，芯层的折射率大于下包层和上包层的折射率，下包层上有多个条形波导凹槽，条形波导凹槽内填充有芯层的有机－无机复合型材料，形成掩埋型结构。本发明器件的制作方法简单，容易控制聚合物芯层和包层材料的折射率差，并且容易控制每一层材料的厚度，器件成本低，增益性能好，成品率高，适合大批量生产。