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公开(公告)号：CN110147000A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910606123.2
申请日：2019-07-05
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于掩埋型石墨烯电极的有机聚合物光波导吸收型光调制器，属于基于石墨烯的平面光波导吸收型光调制器技术领域。由衬底层、有机聚合物波导下包层、第一有机聚合物波导芯层、第一石墨烯层、电介质绝缘层、第二石墨烯层、第二有机聚合物波导芯层、有机聚合物波导上包层、左电极和右电极组成。本发明采用有机聚合物材料进行波导结构的设计，并将石墨烯层转移到波导芯层的中间，使石墨烯能够与光的相互作用增强，以实现更快速的载流子迁移速率，提高光调制器的工作速率，可以在使用无电光效应的有机聚合物材料时，通过偏执电压对石墨烯化学势的调控，也能实现电光调制器的功能，从而达到降低器件成本的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109799626A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910084526.5
申请日：2019-01-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于掩埋石墨烯加热电极的低功耗脊型波导热光开关及其制备方法，属于聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。整个器件为MZI光波导结构，从左到右，由输入直波导，3-dB Y分支分束器，两条平行的第一干涉臂和第二干涉臂组成的器件调制区，3-dB Y分支耦合器和输出直波导构成；本发明采用硅片作为衬底，以热光系数较大的有机聚合物材料分别作为光波导的上包层、下包层和芯层材料，并将石墨烯加热电极置于光波导芯层之中，充分提高加热电极的加热效率并利用有机聚合物材料热光系数大、易于加工的优势。同时，本发明所采用的制作工艺比较简单且与半导体工艺相兼容、易于集成、适于大规模生产，因而具有重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN109883567B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201910263765.7
申请日：2019-04-02
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于非对称MZI光波导的温度传感器及其制备方法，属于平面光波导传感器及其制备技术领域。整个器件基于MZI光波导结构，从左到右，依次由输入直波导，3‑dB Y分支分束器，两条平行的参考臂和传感臂，3‑dB Y分支耦合器组成；从上至上，依次由硅片衬底、在硅片衬底上制备的具有凹槽结构的聚合物下包层、在聚合物下包层上制备的具有倒脊型波导结构的光波导芯层、在光波导芯层上制备的聚合物上包层组成；本发明的波导型温度传感器结合了MZI光波导的干涉效应强和有机聚合物材料热光系数大的优势，通过将传统MZI波导温度传感器的传感臂和参考臂的光波导芯层采用热光系数不同的两种有机聚合物材料，达到了对实际外界环境温度检测的目的。
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公开(公告)号：CN109799626B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201910084526.5
申请日：2019-01-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于掩埋石墨烯加热电极的低功耗脊型波导热光开关及其制备方法，属于聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。整个器件为MZI光波导结构，从左到右，由输入直波导，3‑dB Y分支分束器，两条平行的第一干涉臂和第二干涉臂组成的器件调制区，3‑dB Y分支耦合器和输出直波导构成；本发明采用硅片作为衬底，以热光系数较大的有机聚合物材料分别作为光波导的上包层、下包层和芯层材料，并将石墨烯加热电极置于光波导芯层之中，充分提高加热电极的加热效率并利用有机聚合物材料热光系数大、易于加工的优势。同时，本发明所采用的制作工艺比较简单且与半导体工艺相兼容、易于集成、适于大规模生产，因而具有重要的应用前景。
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公开(公告)号：CN110082001A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910507792.4
申请日：2019-06-12
Applicant: 吉林大学
IPC: G01K11/32
Abstract: 一种基于加载条形结构的非对称MZI光波导温度传感器及其制备方法，属于平面光波导传感器及其制备技术领域。从左至右，由输入直波导，3-dB Y分支分束器，两条非对称参考臂和传感臂，3-dB Y分支耦合器和输出直波导所构成；从下至上，参考臂和传感臂依次由硅片衬底、双波导凹槽结构的聚合物下包层、参考臂光波导芯层和传感臂光波导芯层、未曝光和曝光后的有机无机杂化材料平板、聚合物上包层组成。本发明可以通过光漂白传感臂表面的含有生色团分子的有机无机杂化材料使其折射率发生改变，进一步加大两干涉臂光传输时光模式场随环境改变的差异，加剧输出光强的改变，具有重要的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN109883567A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910263765.7
申请日：2019-04-02
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于非对称MZI光波导的温度传感器及其制备方法，属于平面光波导传感器及其制备技术领域。整个器件基于MZI光波导结构，从左到右，依次由输入直波导，3-dB Y分支分束器，两条平行的参考臂和传感臂，3-dB Y分支耦合器组成；从上至上，依次由硅片衬底、在硅片衬底上制备的具有凹槽结构的聚合物下包层、在聚合物下包层上制备的具有倒脊型波导结构的光波导芯层、在光波导芯层上制备的聚合物上包层组成；本发明的波导型温度传感器结合了MZI光波导的干涉效应强和有机聚合物材料热光系数大的优势，通过将传统MZI波导温度传感器的传感臂和参考臂的光波导芯层采用热光系数不同的两种有机聚合物材料，达到了对实际外界环境温度检测的目的。
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