用于检测二氧化氮的气体传感器及其制作工艺

    公开(公告)号:CN1069134C

    公开(公告)日:2001-08-01

    申请号:CN96102646.4

    申请日:1996-02-02

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种检测NO2的LB膜修饰的悬栅场效应型气体传感器及制作方法。其结构为在悬栅场效应晶体管的包括栅区的整个表面拉制6~60nm厚的钴卟啉季胺盐或硫化酞菁铜或它们的衍生物的LB膜。制备过程为将悬栅场效应管的芯片在漂有LB膜的液体中拉过,使LB膜附于芯片表面,再在真空中干燥;反复拉膜干燥使LB膜达合适厚度,切割成单个芯片引AL电极。本发明的气体传感器灵敏度高、选择性好、响应迅速、一致性好,工艺简单,适合批量生产。

    用于检测二氧化氮的气体传感器及其制作工艺

    公开(公告)号:CN1147636A

    公开(公告)日:1997-04-16

    申请号:CN96102646.4

    申请日:1996-02-02

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明涉及一种检测NO2的LB膜修饰的悬栅场效应型气体传感器及制作方法。其结构为在悬栅场效应晶体管的包括栅区的整个表面拉制6~60nm厚的钴卟啉季胺盐或硫化酞菁铜或它们的衍生物的LB膜。制备过程为将悬栅场效应管的芯片在漂有LB膜的液体中拉过,使LB膜附于芯片表面,再在真空中干燥;反复拉膜干燥使LB膜达合适厚度,切割成单个芯片引AL电极。本发明的气体传感器灵敏度高、选择性好、响应迅速、一致性好,工艺简单,适合批量生产。

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