公开(公告)号：CN116609882A

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202310651072.1

申请日：2023-06-05

Applicant: 吉林大学

Inventor： 孙小强 ,  王曼卓 ,  岳建波 ,  刘庭瑜 ,  方计民 ,  吴远大 ,  张大明

IPC: G02B6/14 ,  G02B6/124 ,  G02B6/122 ,  G02B6/12

Abstract: 一种基于二氧化硅光波导的光栅型三叉戟结构大带宽模斑转换器，属于集成光电子学技术领域。从下至上依次由基底层、下包层、芯层波导和上包层组成，下包层位于基底层之上，芯层波导和上包层共同位于下包层之上且芯层波导被上包层所包覆；芯层波导由光栅型三叉戟输入波导(由Core1、Core2和Core3组成)和直波导结构的输出波导Core4构成，光栅型三叉戟波导中的Core1和Core3结构完全相同，由N个相似的小锥形波导构成且均匀排列，Core2由N个相似的小倒锥形波导构成且均匀排列；本发明制备的模斑转换器具有耦合效率高、带宽大、结构紧凑、易于封装、工艺复杂度低的特点，具有广泛的应用前景。