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公开(公告)号：CN1189587C
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN03111338.9
申请日：2003-03-30
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明属于机械领域，具体涉及一种安装于有机发光镀膜机基片架前的具有自动识别功能的小挡板。基片小挡板由安装在托板上的两个半圆形能够开合并与基片架同步公转的平板构成的基片小挡板(37)、磁力传动机械手(31)、推拉控制板(38)、传感器(44)和位置探测器(45)及自动识别电路构成。半圆形小挡板(37)与推拉控制板(38)一同安装在托板(12)上，托板(12)安装在行星式旋转基片架(8)的公转轴(13)上，位于基片(7)及大挡板(6)之间，与行星式旋转基片架(8)同步转动。小档板可以很方便地对相应基片的镀膜条件进行控制，从而实现在一个实验周期内作出多个试样的目的，从而有效地提高有机镀膜的工作效率。
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公开(公告)号：CN1431339A
公开(公告)日：2003-07-23
申请号：CN03110977.2
申请日：2003-01-28
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源。坩锅式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩锅组成。炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片(9)、金属钼炉丝(8)、位于上下两个陶瓷圆环片(9)间的筒状石英玻璃内屏蔽层(7)和筒状不锈钢外屏蔽层(6)组成，炉丝(8)上下回绕、通过另一小陶瓷圆环(12)嵌于两个陶瓷圆环片(9)内；上下两个95#陶瓷圆环片(9)用3个钼螺丝杆(5)连接在一起，炉体可以稳固地放置在陶瓷绝缘支座(4)上。该蒸发源具有寿命长、终年不需更换和维护、控温性能优越、蒸发速率稳定、保温性能好、同一真空室的各个蒸发源之间不互相污染、操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN108359934A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810250307.5
申请日：2018-03-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明旨在解决传统真空镀膜机不能实现在光纤等柱型基片上均匀生长材料的问题，公开了一种用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，包括一个圆盘状的法兰盘主体，法兰盘主体上有一个放气阀，还包括转动机构、组合夹具机构和掩膜机构，一个电源与转动机构中的电机连接，电机固定在法兰盘主体的上表面上；组合夹具机构用于固定柱型基片的位置，通过电机带动夹具旋转，进而实现柱型基片的匀速旋转，通过旋转旋钮来调节掩模板的位置，选择需要的掩膜，本发明的转动机构可以使柱型基片绕其中心轴旋转，包含多个掩膜的掩膜板可以制备出完整并均匀的器件，并且避免了开仓对器件造成的污染和多次抽真空带来的时间上的浪费。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1441081A
公开(公告)日：2003-09-10
申请号：CN03111338.9
申请日：2003-03-30
Applicant: 吉林大学
IPC: C23C14/12
Abstract: 本发明属于机械领域，具体涉及一种安装于有机发光镀膜机基片架前的具有自动识别功能的小挡板。基片小挡板由安装在托板上的两个半圆形能够开合并与基片架同步公转的平板构成的基片小挡板(37)、磁力传动机械手(31)、推拉控制板(38)、传感器(44)和位置探测器(45)及自动识别电路构成。半圆形小挡板(37)与推拉控制板(38)一同安装在托板(12)上，托板(12)安装在行星式旋转基片架(8)的公转轴(13)上，位于基片(7)及大挡板(6)之间，与行星式旋转基片架(8)同步转动。小挡板可以很方便地对相应基片的镀膜条件进行控制，从而实现在一个实验周期内作出多个试样的目的，从而有效地提高有机镀膜的工作效率。
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公开(公告)号：CN108359934B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201810250307.5
申请日：2018-03-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明旨在解决传统真空镀膜机不能实现在光纤等柱型基片上均匀生长材料的问题，公开了一种用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，包括一个圆盘状的法兰盘主体，法兰盘主体上有一个放气阀，还包括转动机构、组合夹具机构和掩膜机构，一个电源与转动机构中的电机连接，电机固定在法兰盘主体的上表面上；组合夹具机构用于固定柱型基片的位置，通过电机带动夹具旋转，进而实现柱型基片的匀速旋转，通过旋转旋钮来调节掩模板的位置，选择需要的掩膜，本发明的转动机构可以使柱型基片绕其中心轴旋转，包含多个掩膜的掩膜板可以制备出完整并均匀的器件，并且避免了开仓对器件造成的污染和多次抽真空带来的时间上的浪费。
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公开(公告)号：CN1187470C
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN03110977.2
申请日：2003-01-28
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于有机电致发光镀膜机的坩埚式蒸发源。坩埚式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩埚组成。炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片(9)、金属钼炉丝(8)、位于上下两个陶瓷圆环片(9)间的筒状石英玻璃内屏蔽层(7)和筒状不锈钢外屏蔽层(6)组成，炉丝(8)上下回绕、通过另一小陶瓷圆环(12)嵌于两个陶瓷圆环片(9)内；上下两个95#陶瓷圆环片(9)用3个钼螺丝杆(5)连接在一起，炉体可以稳固地放置在陶瓷绝缘支座(4)上。该蒸发源具有寿命长、终年不需更换和维护、控温性能优越、蒸发速率稳定、保温性能好、同一真空室的各个蒸发源之间不互相污染、操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN2606115Y
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN03212003.6
申请日：2003-03-17
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种应用于有机电致发光镀膜机的坩锅式蒸发源。坩锅式蒸发源由支座、热电偶测温系统、加热体炉子及坩锅组成。炉子由上、下两个95#陶瓷圆环片(9)、金属钼炉丝(8)、位于上下两个陶瓷圆环片(9)间的筒状石英玻璃内屏蔽层(7)和筒状不锈钢外屏蔽层(6)组成，炉丝(8)上下回绕、通过另一小陶瓷圆环(12)嵌于两个陶瓷圆环片(9)内；上下两个95#陶瓷圆环片(9)用3个钼螺丝杆(5)连接在一起，炉体可以稳固地放置在陶瓷绝缘支座(4)上。该蒸发源具有寿命长、终年不需更换和维护、控温性能优越、蒸发速率稳定、保温性能好、同一真空室的各个蒸发源之间不互相污染、操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN2615145Y
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：CN03212295.0
申请日：2003-03-30
Applicant: 吉林大学
IPC: C23C14/12
Abstract: 本实用新型具体涉及一种安装于有机发光镀膜机基片架前的具有自动识别功能的小挡板。基片小挡板由安装在托板上的两个半圆形能够开合并与基片架同步公转的平板构成的基片小挡板(37)、磁力传动机械手(31)、推拉控制板(38)、传感器(44)和位置探测器(45)及自动识别电路构成。半圆形小挡板(37)与推拉控制板(38)一同安装在托板(12)上，托板(12)安装在行星式旋转基片架(8)的公转轴(13)上，位于基片(7)及大挡板(6)之间，与行星式旋转基片架(8)同步转动。小挡板可以很方便地对相应基片的镀膜条件进行控制，从而实现在一个实验周期内作出多个试样的目的，从而有效地提高有机镀膜的工作效率。
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