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公开(公告)号：CN110241397A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910672540.7
申请日：2019-07-24
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
摘要： 本发明公开一种卧式多层磁控镀膜复合CVD设备及其工作方法，涉及卷对卷CVD薄膜生长设备领域。该CVD设备包括设备框架，设备框架的顶部设有放卷机构、结构阀三、结构阀二、结构阀一、收卷机构、第一射频腔体、第二射频腔体、温区一、温区二；工作时采用收卷轴与放卷轴联动，经过第一射频腔体与第二射频腔体的磁控溅射，借助射频控制仪先将靶材激发溅射到基材上形成一层金属薄膜，再经两温区沉积形成由原料气体制得的纳米薄膜，可在基材上连续覆膜，得到金属薄膜夹纳米薄膜形式的复合薄膜，该CVD设备可以连续、快速、高效地制备大面积、高质量金属薄膜夹纳米薄膜形式的复合薄膜。
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公开(公告)号：CN109850876A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910120533.6
申请日：2019-02-18
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
IPC分类号： C01B32/186 , C01B32/956 , C23C16/26 , C23C16/505
摘要： 本发明公开了一种连续全自动控制石墨烯粉体包裹系统，包括包裹机构、操作平台、独立电器控制柜和台阶型支撑板，所述操作平台的一侧转动连接有台阶型支撑板。本发明中，通过螺旋送料器带有延伸至异形石英炉管粗端内壁的螺旋送料杆，在异形石英炉管靠近收集罐的细端外壁设置有射频线圈，该种结构能够缩短了制备材料的工艺时间，通过射频线圈升降温并通过倾斜的包裹机构完成石墨烯粉体包裹；异形石英炉管内焊接的石英挡板，同时一对磁流体的内壁固定有延伸至异形石英炉管的内壁与石英挡板贴靠的聚四氟条，在聚四氟条与石英挡板碰撞的过程中，使得粉体材料无法进一步团聚成块，从而有效地保证粉体材料的表面性能。
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公开(公告)号：CN109536929A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201910031492.3
申请日：2019-01-14
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
IPC分类号： C23C16/517 , C23C16/26 , C23C16/455
摘要： 本发明公开了一种衰化卷对卷设备等离子强度的装置及方法，包括放卷舱、多孔石英锭、线圈、石英管、收卷舱、设备框架和射频控制仪，所述放卷舱设置在所述设备框架上端面一端，且所述收卷舱设置在所述设备框架上端面另一端。本发明的有益效果是：本发明中采用多孔石英锭来保证反应、保护气源的均匀进气，从而有效地阻碍等离子体偏放卷舱粒子运动，较好的缩短了等离子体的行程，另外通过多孔石英锭上的微孔营造阻碍等离子体行程，大大地提高等离子体有效碰撞来降低等离子体强度，从而减少等离子体进入放卷舱，降低刻蚀铜箔卷的外表面和卷边的端面的可能性，减弱等离子体对衬底表面的轰击，降低膜与衬底的内应力，提升成膜质量及效率。
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公开(公告)号：CN110218987A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910671877.6
申请日：2019-07-24
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
IPC分类号： C23C16/26 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46
摘要： 本发明公开一种冷壁法CVD沉积设备及其工作方法，涉及CVD沉积设备技术领域。该CVD沉积设备包括设备框架，安装于设备框架上的设备主体，设备主体呈中空圆筒状，设备主体的内部设有保温腔，保温腔的内腔设有加热沉积机构；加热沉积机构包括碳硅棒、陶瓷管、基材管、第一法兰、第二法兰；陶瓷管贯穿设备主体横向的两端且通过卡扣紧固。工作时由进气口通入原料气体CH4、H2、Ar，原料气体进入腔体内后，CH4集中在加热体附近裂解，并在加热体上放置的基材管上沉积生长。本发明采用加热体直接置于管体内部的形式，充分利用加热体所产生的热能，并在外管陶瓷冷壁的加持下，所制备得到的薄膜质量更高，纯度更高。
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公开(公告)号：CN109553088A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201910043810.8
申请日：2019-01-17
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
IPC分类号： C01B32/164
摘要： 本发明公开了一种等离子体增强碳纳米管生长设备包括射频控制仪、进气口、线圈、预热炉、加热炉、石英管、触摸控制屏幕、抽气口、滑轨、设备框架和射频电源，所述设备框架的顶部台面上通过两支座固定有石英管，所述石英管的一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有进气口，且石英管依次贯穿射频电源、预热炉和加热炉，所述射频电源、预热炉和加热炉均设置在设备框架顶部，所述石英管的另一端与真空法兰连接，真空法兰上设置有抽气口，所述设备框架顶部台面上水平设置有滑轨，预热炉放置在滑轨上滑动，所述设备框架的顶部台面上固定安装有触摸控制屏幕，该发明，使得Fe成分恒定，直径可控，能够较好地控制碳纳米管的生长质量。
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公开(公告)号：CN109680259A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910123426.9
申请日：2019-02-18
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
IPC分类号： C23C16/26 , C23C16/505 , C23C16/54
CPC分类号： C23C16/26 , C23C16/505 , C23C16/545
摘要： 本发明公开一种立式连续PE增强卷对卷石墨烯薄膜生长设备，包括设备框架，所述设备框架的前端外表面从上往下依次安装有压力表、触摸控制屏幕与射频控制仪，所述设备框架的一侧安装有石英管，所述石英管的顶部安装有放卷舱，所述放卷舱的上端中间位置开设有二号进气口，所述放卷舱内部中间位置安装有放卷卷轴，所述放卷舱的顶部开设有二号进气口；本发明一种立式连续PE增强卷对卷石墨烯薄膜生长设备通过卷轴联动，PE激发等离子体连续、快速制备大面积、高质量石墨烯，从而大大提高生产速率，利用自重来保证铜箔呈竖直拉紧状态，增大气体与铜箔的接触面积，铜箔双面均可以形核扩散生长石墨烯膜，能够免收反应气体的干扰，有效的提升成膜质量及效率。
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公开(公告)号：CN109604621A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201910040214.4
申请日：2019-01-16
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
IPC分类号： B22F9/08
摘要： 本发明公开了一种可以自由升降的自重力金属预熔淬火炉，包括安装壳体、导轨、升降调节机构、加热机构、真空机构、加料机构、淬火机构；本发明中可以通过调节驱动轮使加热炉随放料套管下料口的位置上下移动，实现不同金属粉体材料在不同自由程下的淬火工艺；通过上下移动阀芯来控制放料套管的开口度，开口度的大小决定金属液滴的尺寸，不同尺寸的金属液滴在落入冷水/油后的的形貌存在差异，同时通过开口的持续时间来控制流出量的多少；本方案中的金属粉体在整个淬火工艺过程中，全程存放于保护气氛下，不存在氧化的可能性，不存在拆装法兰的步骤，操作简单方便；放料套管可加入的金属粉体量较多，同时金属液体尺寸也易于控制。
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公开(公告)号：CN109536897A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201910040797.0
申请日：2019-01-16
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
摘要： 本发明公开一种24源连续有机材料蒸镀装备，包括设备框架，所述设备框架的上端安装有真空舱与触控电脑，且触控电脑位于真空舱一侧边缘位置，所述设备框架的前端安装有分子泵控制器，所述真空舱两侧对称安装有分子泵，所述真空舱的内部底端安装有挡板与电极，所述电极位于挡板的底端两侧，所述挡板上开设有蒸镀源选择孔，所述挡板的底端中间位置连接有一号电机，且一号电机位于设备框架内，所述挡板的正上方安装有上基板；本发明一种24源连续有机材料蒸镀装备能够均匀接受来自不同蒸镀钼舟蒸发上来的分子或原子，并通过有机薄膜的厚度变化趋势以及均匀性来调整蒸镀钼舟的加热温度及加热时间，从而得到目标成分、厚度的有机镀膜。
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公开(公告)号：CN109536914A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201910024005.0
申请日：2019-01-10
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
摘要： 本发明公开一种检测分子蒸发量的蒸镀膜厚复合装置及其工作方法，该装置包括设备框架、真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构；真空舱、基板旋转结构、膜厚检测结构、法兰升降结构集成安装在设备框架上；基板旋转结构包括旋转步进电机、联轴器、磁流体密封轴，旋转步进电机通过联轴器与磁流体密封轴连接，旋转步进电机、联轴器、磁流体密封轴同轴设置。该装置在相同温度、真空度等变量下，测试不同有机试验材料的膜厚变化，通过数据采集并根据蒸镀区的厚度变化生成厚度与温度、真空度、行程间的函数关系式，由此得到不同材料的蒸镀膜厚变化速率，为产业化制备不同厚度的OLED薄膜提供工艺参考。
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公开(公告)号：CN209873092U
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201920206620.9
申请日：2019-02-18
申请人： 合肥百思新材料研究院有限公司
IPC分类号： C23C16/26 , C23C16/505 , C23C16/54
摘要： 本实用新型公开一种立式连续PE增强卷对卷石墨烯薄膜生长设备，包括设备框架，所述设备框架的前端外表面从上往下依次安装有压力表、触摸控制屏幕与射频控制仪，所述设备框架的一侧安装有石英管，所述石英管的顶部安装有放卷舱，所述放卷舱的上端中间位置开设有二号进气口，所述放卷舱内部中间位置安装有放卷卷轴，所述放卷舱的顶部开设有二号进气口；本实用新型一种立式连续PE增强卷对卷石墨烯薄膜生长设备通过卷轴联动，PE激发等离子体连续、快速制备大面积、高质量石墨烯，从而大大提高生产速率，利用自重来保证铜箔呈竖直拉紧状态，增大气体与铜箔的接触面积，铜箔双面均可以形核扩散生长石墨烯膜，能够免收反应气体的干扰，有效的提升成膜质量及效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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