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1.

发明公开
应用于MEMS倾角传感器的微型恒温腔无效

公开(公告)号：CN113985946A

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202111388290.8

申请日：2021-11-22

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 陈有康 , 程保林 , 董伟 , 程荣俊 , 张连生 , 黄强先

IPC: G05D23/20

Abstract: 本发明公开了一种应用于MEMS倾角传感器的微型恒温腔，是在底座上设置有外壳，在外壳的顶部设置有散热片，在外壳的顶部设置有隔热环，该隔热环套装在铝导热工件上，在铝导热工件的上部分的环形凸台与隔热环的内侧壁之间的空腔中设置有TEC制冷片；在铝导热工件底部的环形腔上设置有电路板；在电路板上，并处于环形腔内设置有传感器模块；在散热片上开设有通向所述电路板的通讯线孔以及通向TEC制冷片的TEC驱动线孔，用于将所述传感器模块和TEC制冷片的与外部的控制模块连接；在所述外壳与底座组成的封闭空间内填充有聚氨酯隔热材料。本发明通过为MEMS倾角传感器构建恒温的工作条件来解决温漂问题，从而极大地提高了输出精度。

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