公开(公告)号：CN104040287B

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201280066177.0

申请日：2012-12-20

申请人： 合欧米成像公司

发明人： 海莫·凯雷宁 ,  彼得里·莱赫托宁

IPC分类号： G01B11/245

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/245 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/062

摘要： 一种用于光学测量可选地光滑的目标对象(106，206)的表面(例如，表面形状和/或相关的表面缺陷)的设置(101，201)，包括：限定空心的优选弯曲的表面形状的漫射半透明照明结构(102，202，302)，被配置为至少部分地优选至少大致半球状地包围所述目标对象，所述表面进一步具有至少两个优选地大致针孔状并且可选地具有透镜的光圈(212)；若干光源(208)，光学耦合至该漫射照明结构，用于通过所述照明结构的表面照亮目标对象；至少两个成像装置(104，204)，每个成像装置被配置为通过所述至少两个光圈中的一个光圈对目标对象成像；以及控制实体(210)，被配置为指示所述若干光源形成通过所述照明结构的表面照亮目标对象的一系列预定的照明图案(即，在目标对象上投射的图像的视频序列)，指示所述至少两个成像装置获得目标对象的相对于每个照明图像的图像，并且通过利用所利用的所述图形以及所获得的图像，获得目标对象的预定的与表面相关的性能。还提出了一种相应的测量方法。

公开(公告)号：CN104040287A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280066177.0

申请日：2012-12-20

申请人： 合欧米成像公司

发明人： 海莫·凯雷宁 ,  彼得里·莱赫托宁

IPC分类号： G01B11/245

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/245 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/062

摘要： 一种用于光学测量可选地光滑的目标对象(106，206)的表面(例如，表面形状和/或相关的表面缺陷)的设置(101，201)，包括：限定空心的优选弯曲的表面形状的漫射半透明照明结构(102，202，302)，被配置为至少部分地优选至少大致半球状地包围所述目标对象，所述表面进一步具有至少两个优选地大致针孔状并且可选地具有透镜的光圈(212)；若干光源(208)，光学耦合至该漫射照明结构，用于通过所述照明结构的表面照亮目标对象；至少两个成像装置(104，204)，每个成像装置被配置为通过所述至少两个光圈中的一个光圈对目标对象成像；以及控制实体(210)，被配置为指示所述若干光源形成通过所述照明结构的表面照亮目标对象的一系列预定的照明图案(即，在目标对象上投射的图像的视频序列)，指示所述至少两个成像装置获得目标对象的相对于每个照明图像的图像，并且通过利用所利用的所述图形以及所获得的图像，获得目标对象的预定的与表面相关的性能。还提出了一种相应的测量方法。