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公开(公告)号：CN109598398B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN201810410023.8
申请日：2018-05-02
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司(TW)
Abstract: 一种集成电路制造工作程序相似性评估方法和系统的方法包含：针对工具日志变量集合中的第一工具日志变量，将来自第一集成电路制造工作程序的第一工具日志变量结果与来自第二集成电路制造工作程序的第一工具日志变量结果进行比较。所述工具日志变量集合对应于由在集成电路制造工具上执行所述第一集成电路制造工作程序和所述第二集成电路制造工作程序而生成的一个或多个工具日志。基于所述比较，针对所述第一工具日志变量分配第一工具日志变量相似性值，并且基于所述第一工具日志变量相似性值，计算针对所述第一集成电路制造工作程序和所述第二集成电路制造工作程序的工作程序相似性值。
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