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公开(公告)号：CN100465829C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200610145300.4
申请日：2006-11-29
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/04 , G05B19/048
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B23/0297 , H01L22/20 , Y02P90/22
Abstract: 本发明提供一种制程机台监控的离线量测的方法与系统。提供一自我调整监控规则数据库，用以储存用于执行晶圆批量处理的预定监控规则。定义用于执行该晶圆批量处理的监控数据，根据选取自该自我调整监控规则数据库中的监控规则取得所欲监控数据，根据该监控数据并利用一制程机台执行一离线量测操作以产生监控结果，并且根据该监控结果比较该选取的监控规则与数据以判断是否发生异常状态。若否，则利用该制程机台执行晶圆批量处理。若是，则结束该制程机台的晶圆批量处理。接着反馈一失效通知，并且重新定义监控规则以更新该自我调整监控规则数据库。本发明可改善晶圆批量处理的效率与流程，减少生产损失。
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公开(公告)号：CN101082815A
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：CN200610083026.2
申请日：2006-05-29
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种改变晶圆在制品制程流的方法。设定欲触发一制程流更换操作的一第一机台，其中该第一机台是设置于一第一制程流。在上述机台设定一预约切换操作。接收一切换制程流的命令。判断一晶圆在制品为正在执行或正在等候的状态。若上述晶圆在制品为正在等候的状态，则直接将上述该晶圆在制品自上述第一制程流的第一机台更换到一第二制程流的一第二机台。若上述晶圆在制品为正在执行的状态，则触发上述预约切换操作，并且根据上述预约切换操作将上述晶圆在制品自上述第一制程流的上述第一机台更换到上述第二制程流的上述第二机台。本发明使得晶圆在制品可任意由一制程流更换至另一制程流的对应机台。
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公开(公告)号：CN1983089A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200610145300.4
申请日：2006-11-29
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G05B19/04 , G05B19/048
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B23/0297 , H01L22/20 , Y02P90/22
Abstract: 本发明提供一种制程机台监控的离线量测的方法与系统。提供一自我调整监控规则数据库，用以储存用于执行晶圆批量处理的预定监控规则。定义用于执行该晶圆批量处理的监控数据，根据选取自该自我调整监控规则数据库中的监控规则取得所欲监控数据，根据该监控数据并利用一制程机台执行一离线量测操作以产生监控结果，并且根据该监控结果比较该选取的监控规则与数据以判断是否发生异常状态。若否，则利用该制程机台执行晶圆批量处理。若是，则结束该制程机台的晶圆批量处理。接着反馈一失效通知，并且重新定义监控规则以更新该自我调整监控规则数据库。本发明可改善晶圆批量处理的效率与流程，减少生产损失。
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公开(公告)号：CN100530006C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200610083026.2
申请日：2006-05-29
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种改变晶圆在制品制程流的方法。设定欲触发一制程流更换操作的一第一机台，其中该第一机台是设置于一第一制程流。在上述机台设定一预约切换操作。接收一切换制程流的命令。判断一晶圆在制品为正在执行或正在等候的状态。若上述晶圆在制品为正在等候的状态，则直接将上述该晶圆在制品自上述第一制程流的第一机台更换到一第二制程流的一第二机台。若上述晶圆在制品为正在执行的状态，则触发上述预约切换操作，并且根据上述预约切换操作将上述晶圆在制品自上述第一制程流的上述第一机台更换到上述第二制程流的上述第二机台。本发明使得晶圆在制品可任意由一制程流更换至另一制程流的对应机台。
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