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    位置调整装置以及超精密加工机
    1.
    发明公开
    位置调整装置以及超精密加工机 审中-公开

    公开(公告)号：CN112238354A

    公开(公告)日：2021-01-19

    申请号：CN202010680884.5

    申请日：2020-07-15

    申请人： 发那科株式会社

    发明人： 铃木丰明

    IPC分类号： B23Q1/00 ,  B24B47/22

    摘要： 本发明提供一种位置调整装置以及超精密加工机。调整支撑对象物(12)的高度的位置调整装置(10)具备：固定部(14)；移动部(16)，其设为能够相对于固定部(14)在高度方向上移动且支撑支撑对象物(12)；伸缩部(18)，其与固定部(14)和移动部(16)连结，且设有沿与高度方向正交的第一方向的多个切槽(24)；以及调整机构(20)，其调整伸缩部(18)的伸缩，伸缩部(18)具有沿高度方向交替地配置有设于第一方向上的一方侧的多个切槽(24)和设于另一方侧的多个切槽(24)的曲柄形状。

    密封构造
    2.
    发明公开
    密封构造 有权

    公开(公告)号：CN111322407A

    公开(公告)日：2020-06-23

    申请号：CN201911296157.2

    申请日：2019-12-16

    申请人： 发那科株式会社

    发明人： 铃木丰明

    IPC分类号： F16J15/14

    摘要： 本发明提供一种密封构造(10)，其具备：第一部件(12)，其具有沿重力起作用的重力方向延伸的第一面(12A)；第二部件(14)，其具有与第一面(12A)对置且沿重力方向延伸的第二面(14A)；静压轴承(16)，其设于第一部件(12)的第一面(12A)侧，且向第一面(12A)与第二面(14A)之间供给压缩液体；以及密封部(18)，其具有和第一面(12A)与第二面(14A)之间连通且配置于比静压轴承(16)靠重力方向的间隙(CL)，且在间隙(CL)通过表面张力保持有液体(LQ)。

    密封构造
    4.
    发明授权
    密封构造 有权

    公开(公告)号：CN111322407B

    公开(公告)日：2022-11-29

    申请号：CN201911296157.2

    申请日：2019-12-16

    申请人： 发那科株式会社

    发明人： 铃木丰明

    IPC分类号： F16J15/14

    摘要： 本发明提供一种密封构造(10)，其具备：第一部件(12)，其具有沿重力起作用的重力方向延伸的第一面(12A)；第二部件(14)，其具有与第一面(12A)对置且沿重力方向延伸的第二面(14A)；静压轴承(16)，其设于第一部件(12)的第一面(12A)侧，且向第一面(12A)与第二面(14A)之间供给压缩液体；以及密封部(18)，其具有和第一面(12A)与第二面(14A)之间连通且配置于比静压轴承(16)靠重力方向的间隙(CL)，且在间隙(CL)通过表面张力保持有液体(LQ)。

    节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法
    5.
    发明授权
    节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN107269699B

    公开(公告)日：2020-09-04

    申请号：CN201710213472.9

    申请日：2017-04-01

    申请人： 发那科株式会社

    发明人： 铃木丰明 ,  室田真弘

    IPC分类号： F16C32/06

    摘要： 本发明提供节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法。节流单元(14A)具备在平面(15)上具有至少一个微小槽(25)的带槽块体(24)以及具有与微小槽(25)对置的平面(27)的对置块体(26)。带槽块体(24)与对置块体(26)相互对置地以能够装卸的方式进行结合，由微小槽(25)和对置块体(26)的平面(27)形成节流流路(18)。微小槽(25)的至少一个面由相对于带槽块体(24)的平面(15)倾斜的斜面或者曲面构成。

    节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法
    6.
    发明公开
    节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN107269699A

    公开(公告)日：2017-10-20

    申请号：CN201710213472.9

    申请日：2017-04-01

    申请人： 发那科株式会社

    发明人： 铃木丰明 ,  室田真弘

    IPC分类号： F16C32/06

    摘要： 本发明提供节流单元、具备该节流单元的静压轴承装置以及带槽块体的制造方法。节流单元(14A)具备在平面(15)上具有至少一个微小槽(25)的带槽块体(24)以及具有与微小槽(25)对置的平面(27)的对置块体(26)。带槽块体(24)与对置块体(26)相互对置地以能够装卸的方式进行结合，由微小槽(25)和对置块体(26)的平面(27)形成节流流路(18)。微小槽(25)的至少一个面由相对于带槽块体(24)的平面(15)倾斜的斜面或者曲面构成。

    位置调整装置以及超精密加工机
    7.
    发明公开
    位置调整装置以及超精密加工机 审中-公开

    公开(公告)号：CN112238355A

    公开(公告)日：2021-01-19

    申请号：CN202010682980.3

    申请日：2020-07-15

    申请人： 发那科株式会社

    发明人： 铃木丰明 ,  室田真弘

    IPC分类号： B23Q1/00 ,  B24B47/22

    摘要： 本发明提供一种位置调整装置以及超精密加工机。调整支撑对象物(12)的高度的位置调整装置(10)具备：固定部(22)；移动部(24)，其设为能够相对于固定部(22)在高度方向上移动且支撑支撑对象物(12)；伸缩部(26)，其与固定部(22)和移动部(24)连结且在高度方向上伸缩；调整机构(28)，其调整移动部(24)相对于固定部(22)的高度方向的位置；以及金属部件(16)，其固定于固定部(22)及移动部(24)。