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公开(公告)号：CN120065868A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510267299.5
申请日：2025-03-07
Applicant: 厦门大学
IPC: G05B19/042 , G01Q10/00 , G01Q60/24
Abstract: 本发明涉及原子力显微镜技术领域，特别涉及一种原子力显微镜控制方法及系统、介质、终端。控制方法包括：通过信号获取步骤计算得到误差信号e和误差变化率ec；通过论域调节步骤得到调节因子αe、β、αec；通过模糊控制步骤PID控制器的控制参数Kp、Ki、Kd；通过优化输出步骤来对PIλDµ控制器的控制参数Kp、Ki、Kd进行优化控制以作用于原子力显微镜。通过上述步骤，使得变论域模糊控制和分数阶PID相结合，并加入滚动时域优化，实现了原子力显微镜扫描过程的精确控制。
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