公开(公告)号：CN112510127A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011515819.3

申请日：2020-12-21

Applicant: 厦门大学

Inventor： 梅洋 ,  谢敏超 ,  应磊莹 ,  张保平

IPC: H01L33/20 ,  H01L33/10 ,  H01L33/22 ,  H01L27/15 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明涉及一种悬浮LED器件及其制造方法，包括衬底、半导体外延层阵列、反射层及电极；半导体外延层阵列包括多个半导体外延层，衬底上设有凸起的支撑柱阵列，支撑柱阵列包括多个支撑柱；支撑柱及衬底都由导电材料制成；半导体外延层的第一面与支撑柱的上表面连接，支撑柱的上表面面积小于半导体外延层的第一面面积，反射层覆盖于衬底的上表面及支撑柱的侧面上；半导体外延层的第二面与电极连接。这种悬浮LED器件将发光二极管的半导体外延层通过支撑柱支撑起，形成了悬浮的结构，由于半导体外延层与支撑柱的接触面积较小，半导体外延层内应力得以释放，因此有源区内量子斯塔克效应能被有效抑制，器件发光效率能得到显著提高。

公开(公告)号：CN112510127B

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202011515819.3

申请日：2020-12-21

Applicant: 厦门大学

Inventor： 梅洋 ,  谢敏超 ,  应磊莹 ,  张保平

IPC: H01L33/20 ,  H01L33/10 ,  H01L33/22 ,  H01L27/15 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明涉及一种悬浮LED器件及其制造方法，包括衬底、半导体外延层阵列、反射层及电极；半导体外延层阵列包括多个半导体外延层，衬底上设有凸起的支撑柱阵列，支撑柱阵列包括多个支撑柱；支撑柱及衬底都由导电材料制成；半导体外延层的第一面与支撑柱的上表面连接，支撑柱的上表面面积小于半导体外延层的第一面面积，反射层覆盖于衬底的上表面及支撑柱的侧面上；半导体外延层的第二面与电极连接。这种悬浮LED器件将发光二极管的半导体外延层通过支撑柱支撑起，形成了悬浮的结构，由于半导体外延层与支撑柱的接触面积较小，半导体外延层内应力得以释放，因此有源区内量子斯塔克效应能被有效抑制，器件发光效率能得到显著提高。