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公开(公告)号：CN119714619A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411850993.1
申请日：2024-12-16
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种基于等强度薄膜设计的声表面波压力传感器，包括硅基底、压电敏感薄膜、谐振器和硅基盖板；所述硅基底设置有感应孔，感应孔外端暴露于外界待测环境；所述压电敏感薄膜由温补层和铌酸锂层叠设复合形成薄膜；所述温补层下端边缘与硅基底上端固定连接，铌酸锂层上端边缘与硅基盖板下端密封固定；所述感应孔上方的温补层下端设置有应力平衡凹槽，用于在压电敏感薄膜的感压区表面各区域在最大许用应力作用下达到等应力；所述谐振器由叉指式换能器电极和反射栅组成；所述叉指式换能器电极固定于铌酸锂层上端中部，反射栅分别固定于叉指式换能器电极两侧的铌酸锂层上；所述感应孔上方的硅基盖板下端设置有感压腔。
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