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公开(公告)号:CN103757695A
公开(公告)日:2014-04-30
申请号:CN201310726451.9
申请日:2013-12-25
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种多晶硅定向凝固设备的侧壁热量补偿装置,涉及多晶硅。提供可大幅度降低能耗和成本、设备简单可靠、能保持多晶硅凝固前沿水平上升、提纯质量优良的一种多晶硅定向凝固设备的侧壁热量补偿装置。设有顶盖、加热装置、壳体、保温层、坩埚、散热板;所述顶盖设于壳体的顶部,加热装置和坩埚设于壳体的腔体内,加热装置设于坩埚上方,加热装置的边缘延伸至腔体上部;所述保温层包裹在腔体内的外侧与底部,坩埚内盛放硅液,散热板置于坩埚正下方并与坩埚紧密贴合。
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公开(公告)号:CN103757695B
公开(公告)日:2015-12-09
申请号:CN201310726451.9
申请日:2013-12-25
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种多晶硅定向凝固设备的侧壁热量补偿装置,涉及多晶硅。提供可大幅度降低能耗和成本、设备简单可靠、能保持多晶硅凝固前沿水平上升、提纯质量优良的一种多晶硅定向凝固设备的侧壁热量补偿装置。设有顶盖、加热装置、壳体、保温层、坩埚、散热板;所述顶盖设于壳体的顶部,加热装置和坩埚设于壳体的腔体内,加热装置设于坩埚上方,加热装置的边缘延伸至腔体上部;所述保温层包裹在腔体内的外侧与底部,坩埚内盛放硅液,散热板置于坩埚正下方并与坩埚紧密贴合。
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