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公开(公告)号：CN113041746A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110508752.9
申请日：2021-05-11
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种气体过滤器，包括滤灌，滤灌包括顶部的上盖、中间串联的多级滤筒和底部的集尘盒，各多级滤筒的气体通道相连通；各多级滤筒内部均设有一个过滤装置，过滤装置底部设有开口，过滤装置顶部密闭滤芯空心排气通道的顶部；进气口、过滤装置底部开口、滤芯空心排气通道、滤芯的内壁滤网、滤芯外壁与各多级滤筒内壁之间的通道和出气口连通形成气体通道；本发明设有多级滤筒，可加大面积过滤尾气中的粉尘颗粒，避免粉尘颗粒残留于反应腔室和真空管道内造成堵塞；且过滤装置的过滤方向为滤芯的内壁滤网指向滤芯外壁，可避免清理腔体和更换滤芯时造成粉尘污染。
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公开(公告)号：CN215311041U
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202120991375.4
申请日：2021-05-11
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种气体过滤器，包括滤灌，滤灌包括顶部的上盖、中间串联的多级滤筒和底部的集尘盒，各多级滤筒的气体通道相连通；各多级滤筒内部均设有一个过滤装置，过滤装置底部设有开口，过滤装置顶部密闭滤芯空心排气通道的顶部；进气口、过滤装置底部开口、滤芯空心排气通道、滤芯的内壁滤网、滤芯外壁与各多级滤筒内壁之间的通道和出气口连通形成气体通道；本实用新型设有多级滤筒，可加大面积过滤尾气中的粉尘颗粒，避免粉尘颗粒残留于反应腔室和真空管道内造成堵塞；且过滤装置的过滤方向为滤芯的内壁滤网指向滤芯外壁，可避免清理腔体和更换滤芯时造成粉尘污染。
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