公开(公告)号：CN116696991A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310200027.4

申请日：2023-03-03

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 ,  ASML荷兰公司

Inventor： A·范兰克韦尔特 ,  M·维沃奥尔登克 ,  P·卡根 ,  M·范德维杰斯特 ,  G·T·特克贝 ,  M·惠斯坎普 ,  U·肖恩霍夫

IPC: F16F15/023 ,  F16F15/027 ,  F16F9/04 ,  F16F9/44 ,  F16F9/32

Abstract: 一种振动隔离器(10；210)，用于支撑有效载荷并将有效载荷与振动隔离，包括：配置用于支撑有效载荷的接触构件(12)，至少两个加压气体隔室(24)，其彼此相邻布置以在不同位置处支撑接触构件，所述加压气体隔室通过管道系统(54)彼此连接，其中管道系统包含至少一个限制部(66)，在该限制部处管道系统的横截面减小至少50％。