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公开(公告)号:CN114066787A
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN202110856095.7
申请日:2021-07-28
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种生成用于成像工件表面的方法的参考图像的方法,其中,所述参考图像是借助于以下生成:相对于彼此横向位移和/或旋转的参考物体的表面的多个图像记录被捕获,并且基于捕获的图像数据生成重新定位的图像记录并将其存储。根据本发明,遮蔽数据记录是借助于定义多个评估组生成的,并且,在评估组中的每一个中,在各个情况下通过计算以成对方式将单独重新定位的图像记录中的一个与多个其它单独重新定位的图像记录组合,并且将通过计算评估组从成对组合中的每一个获得的数据记录进行组合以形成相应遮蔽数据记录。将遮蔽数据记录应用到图像记录并且因此修改的图像记录用于生成参考图像。
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公开(公告)号:CN110658617B
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN201910558190.1
申请日:2019-06-25
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明涉及显微成像方法,其包含以下步骤:用照明辐射照明样品(1)并沿着检测轴线捕获检测辐射,所述检测辐射已经由照明辐射引起,在第一次时作为宽场信号(WF)且在第二次时作为复合信号(CI),所述复合信号已经由共焦图像和宽场图像的叠加来形成;通过从复合信号(CI)减去宽场信号(WF)来提取共焦图像,其中使用校正因子。所述方法的特征在于,为每个执行的成像和/或为每个成像的样品(1)确定当前校正因子,并且使用相应的当前校正因子来提取共焦图像。
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公开(公告)号:CN110658617A
公开(公告)日:2020-01-07
申请号:CN201910558190.1
申请日:2019-06-25
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明涉及显微成像方法,其包含以下步骤:用照明辐射照明样品(1)并沿着检测轴线捕获检测辐射,所述检测辐射已经由照明辐射引起,在第一次时作为宽场信号(WF)且在第二次时作为复合信号(CI),所述复合信号已经由共焦图像和宽场图像的叠加来形成;通过从复合信号(CI)减去宽场信号(WF)来提取共焦图像,其中使用校正因子。所述方法的特征在于,为每个执行的成像和/或为每个成像的样品(1)确定当前校正因子,并且使用相应的当前校正因子来提取共焦图像。
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