公开(公告)号：CN109416462B

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN201780041421.0

申请日：2017-06-29

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J.西本摩根 ,  H.利珀特 ,  T.卡尔克布伦纳 ,  I.克莱普 ,  R.沃莱辛斯基 ,  A.德根 ,  M.瓦尔德 ,  L-C.威蒂格 ,  M.戈利斯 ,  W.辛格

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/16 ,  G02B21/36 ,  G02B21/02

Abstract: 本发明涉及一种显微术的布置(1)，包括具有照明镜头(2)的照明光学单元以通过照明束路径在样品平面(4)的样品区域中照明位于样品保持件(7)上的样品(5)，其中照明镜头(2)的光轴(A1)位于与样品平面(4)的法线形成非零的照明角(α1)的平面中，将样品保持件(7)关于该样品平面(4)取向，并且在平面中实现照明。此外，在检测束路径中存在具有检测镜头(3)的检测光学单元，该检测镜头(3)的光轴(A2)与样品平面(4)的法线形成非零的检测角(α2)。照明镜头(2)和/或检测镜头(3)包括布置在束路径中的照明校正元件(2KE)和/或检测校正元件(3KE)。根据本发明，样品保持件(7)和镜头(2、3)具有在它俩之间的弯月形透镜(10)，该弯月形透镜布置在照明束路径中和检测束路径中并且配置为校正像差。照明校正元件(2KE)和/或检测校正元件(3KE)配置为校正剩余的像差。

公开(公告)号：CN109416462A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201780041421.0

申请日：2017-06-29

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J.西本摩根 ,  H.利珀特 ,  T.卡尔克布伦纳 ,  I.克莱普 ,  R.沃莱辛斯基 ,  A.德根 ,  M.瓦尔德 ,  L-C.威蒂格 ,  M.戈利斯 ,  W.辛格

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/16 ,  G02B21/36 ,  G02B21/02

Abstract: 本发明涉及一种显微术的布置(1)，包括具有照明镜头(2)的照明光学单元以通过照明束路径在样品平面(4)的样品区域中照明位于样品保持件(7)上的样品(5)，其中照明镜头(2)的光轴(A1)位于与样品平面(4)的法线形成非零的照明角(α1)的平面中，将样品保持件(7)关于该样品平面(4)取向，并且在平面中实现照明。此外，在检测束路径中存在具有检测镜头(3)的检测光学单元，该检测镜头(3)的光轴(A2)与样品平面(4)的法线形成非零的检测角(α2)。照明镜头(2)和/或检测镜头(3)包括布置在束路径中的照明校正元件(2KE)和/或检测校正元件(3KE)。根据本发明，样品保持件(7)和镜头(2、3)具有在它俩之间的弯月形透镜(10)，该弯月形透镜布置在照明束路径中和检测束路径中并且配置为校正像差。照明校正元件(2KE)和/或检测校正元件(3KE)配置为校正剩余的像差。