公开(公告)号：CN112437867B

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN201980048346.X

申请日：2019-07-17

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： N.兰戈尔兹 ,  J.哈尔斯特里奇

IPC: G01B9/04 ,  G01B11/06 ,  G01N21/41

Abstract: 本发明涉及一种用于决定在基板(26)上的层(6)的厚度和折射率的方法，层(6)具有面向基板(26)的层边界表面(30)以及背离基板(26)的层顶侧(28)。在所述方法中，实行以下步骤：沿光轴(8)由共聚焦显微镜将层(6)成像；决定在层边界表面(30)和层顶侧(28)处的沿光轴(8)分辨的点扩散函数；从在点扩散函数的两个极大值之间的距离，决定层在层的侧向点处的表观厚度；在侧向点处，决定在层边界表面(30)的点扩散函数具有的极大值相对于在层顶侧(28)的点扩散函数具有的相同极大值的加宽；以及从表观厚度和加宽，决定层(6)在侧向点处的厚度和折射率。

公开(公告)号：CN112437867A

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN201980048346.X

申请日：2019-07-17

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： N.兰戈尔兹 ,  J.哈尔斯特里奇

IPC: G01B9/04 ,  G01B11/06 ,  G01N21/41

Abstract: 本发明涉及一种用于决定在基板(26)上的层(6)的厚度和折射率的方法，层(6)具有面向基板(26)的层边界表面(30)以及背离基板(26)的层顶侧(28)。在所述方法中，实行以下步骤：沿光轴(8)由共聚焦显微镜将层(6)成像；决定在层边界表面(30)和层顶侧(28)处的沿光轴(8)分辨的点扩散函数；从在点扩散函数的两个极大值之间的距离，决定层在层的侧向点处的表观厚度；在侧向点处，决定在层边界表面(30)的点扩散函数具有的极大值相对于在层顶侧(28)的点扩散函数具有的相同极大值的加宽；以及从表观厚度和加宽，决定层(6)在侧向点处的厚度和折射率。