公开(公告)号：CN110662940A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201880027283.5

申请日：2018-04-23

Applicant: 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： L.斯托普 ,  T.米尔德 ,  M.托特泽克

IPC: G01B11/25 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G06T7/00

Abstract: 本发明涉及一种光学系统(100)，该光学系统包括照明模块(111)，该照明模块被设计用于以至少一个角度可变的照明几何形状来照射样本物体(180，181)。该光学系统还包括：成像光学单元，该成像光学单元被设置用于在检测器(114)上产生以该至少一个角度可变的照明几何形状照射的该样本物体(180，181)的成像表示；以及该检测器(114)，该检测器被设计用于基于该成像表示来捕捉该样本物体(180，181)的至少一个图像。该光学系统进一步包括控制器，该控制器被设置用于基于传递函数和该至少一个图像来确定结果图像。

公开(公告)号：CN110662940B

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN201880027283.5

申请日：2018-04-23

Applicant: 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： L.斯托普 ,  T.米尔德 ,  M.托特泽克

IPC: G01B11/25 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G06T7/00

Abstract: 本发明涉及一种光学系统(100)，该光学系统包括照明模块(111)，该照明模块被设计用于以至少一个角度可变的照明几何形状来照射样本物体(180，181)。该光学系统还包括：成像光学单元，该成像光学单元被设置用于在检测器(114)上产生以该至少一个角度可变的照明几何形状照射的该样本物体(180，181)的成像表示；以及该检测器(114)，该检测器被设计用于基于该成像表示来捕捉该样本物体(180，181)的至少一个图像。该光学系统进一步包括控制器，该控制器被设置用于基于传递函数和该至少一个图像来确定结果图像。

公开(公告)号：CN107077722A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580056360.6

申请日：2015-08-27

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： L.斯托普 ,  T.米尔德 ,  M.汉夫特

IPC: G06T5/00 ,  G06T5/50

Abstract: 出于图像记录目的，以多个照明角度对物体进行照明。检测器针对所述多个照明角度而捕获所述物体的多个图像(41‑43)。电子评估装置对所述多个图像(41‑43)应用图像校正，所述图像校正包括纠正(T1、T2、T3)，其中所述纠正(T1、T2、T3)取决于在记录相应的所述图像(41‑43)时所使用的所述照明角度。可将经校正图像(44‑46)相组合。

公开(公告)号：CN107077722B

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN201580056360.6

申请日：2015-08-27

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： L.斯托普 ,  T.米尔德 ,  M.汉夫特

IPC: G06T5/00 ,  G06T5/50

Abstract: 出于图像记录目的，以多个照明角度对物体进行照明。检测器针对所述多个照明角度而捕获所述物体的多个图像(41‑43)。电子评估装置对所述多个图像(41‑43)应用图像校正，所述图像校正包括纠正(T1、T2、T3)，其中所述纠正(T1、T2、T3)取决于在记录相应的所述图像(41‑43)时所使用的所述照明角度。可将经校正图像(44‑46)相组合。

公开(公告)号：CN113874141A

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202080035275.2

申请日：2020-05-11

Applicant: 卡尔蔡司股份公司 ,  卡尔蔡司工业测量技术有限公司

Inventor： F.维杜勒 ,  C.普拉特 ,  T.米尔德 ,  B.维德曼

IPC: B22F10/366 ,  B22F12/49 ,  B22F12/90

Abstract: 本发明涉及用于一种使用数据集(34)对工件(14)进行增材制造的方法和设备，该数据集以彼此上下布置的多个层(16)定义了该工件(14)。构建工具(24)以空间分辨方式相对于制造平台(12)移动第一能量束(26)。测量装置(36)确定层堆叠体(20)的各个特性。测量装置(36)包括激励器(38)，该激励器借助于第二能量束(42)激励堆叠体(20)，以及检测器(40)，该检测器其以空间分辨方式检测作为该激励的结果的堆叠体(20)的特性。控制器(30)控制第二能量束(42)和/或检测路径(44)以沿着多个测量轨迹(46)进行测量，这些测量轨迹可以不同于第一能量束(26)的轨迹(28)。第一扫描单元(50)和附加的扫描单元(54)为第一能量束(26)和第二能量束(42)和/或为第一能量束(26)和检测路径(44)建立彼此完全分开的束路径。