公开(公告)号：CN117938108A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202311855366.2

申请日：2023-12-29

Applicant: 南通大学

Inventor： 赵继聪 ,  马迅言 ,  吕世涛 ,  党岩盟 ,  孙泽鑫 ,  叶文淏 ,  孙海燕

IPC: H03H9/15 ,  H03H9/02

Abstract: 本申请属于射频MEMS器件领域，涉及一种具有声学减速带结构的Lamb波谐振器。本发明提供的Lamb波谐振器，包括压电振动结构、配置于压电振动结构上表面的顶部叉指电极、配置于压电振动结构下表面的底部叉指电极、配置于顶部叉指电极Bus区域上表面的声学减速带结构。本发明申请的具有声学减速带结构的Lamb波谐振器，具有高品质因数、高有效机电耦合系数的特点，能够实现大带宽且显著抑制带内纹波的滤波器。

公开(公告)号：CN116614107A

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202310569824.X

申请日：2023-05-19

Applicant: 南通大学

Inventor： 赵继聪 ,  马迅言 ,  吕世涛 ,  孙泽鑫 ,  党岩盟 ,  孙海燕

IPC: H03H9/205 ,  H03H9/54

Abstract: 本申请属于射频MEMS器件领域，涉及一种基于氮化铝压电薄膜的双模谐振器及双通带滤波器。本发明提供基于掺钪氮化铝(Al0.6Sc0.4N)双模谐振器分为第一区域和第二区域，模态1和模态2分别设置于第一区域和第二区域，包括压电振动结构、配置于压电振动结构上表面的顶部叉指电极、配置于压电振动结构下表面的底部叉指电极，第一区域与第二区域间配置用于抑制不同模态间的相互干扰的声学隔绝槽。本发明申请的掺钪氮化铝压电薄膜谐振器，两个工作模态均具有相近且较高的品质因数和有效机电耦合系数，并具备无寄生模态的特点，能够在互不干扰的条件下实现对其两个模态的频率调节以构成双通带声学滤波器。