公开(公告)号：CN105405930A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201510956665.4

申请日：2015-12-21

Applicant: 南昌大学

Inventor： 周浪 ,  肖志刚 ,  陈文浩 ,  耿国营

IPC: H01L31/18 ,  C30B33/10

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  C30B33/10 ,  H01L31/1876

Abstract: 一种太阳电池用多晶硅片的微液滴刻蚀制绒方法，通过密布多晶硅片表面的混合酸溶液微液滴与硅进行化学反应来刻蚀多晶硅片表面的方法。微液滴通过加热混合酸溶液产生的蒸气在一定温度条件下的多晶硅片表面凝结而成。混合酸溶液由硝酸、氢氟酸和水配制而得。本发明的微液滴刻蚀制绒方法使刻蚀反应仅在表面有微液滴处发生，有很强的选择性，不仅使得刻蚀绒面的减反射效果优于上述常规湿法制绒方法，而且可以对难于制绒的金刚石线锯切割多晶硅表面进行制绒，形成高质量的绒面，使表面光反射率减低到17～21%水平，并消除其切割纹。

公开(公告)号：CN105405930B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201510956665.4

申请日：2015-12-21

Applicant: 南昌大学

Inventor： 周浪 ,  肖志刚 ,  陈文浩 ,  耿国营

IPC: H01L31/18 ,  C30B33/10

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 一种太阳电池用多晶硅片的微液滴刻蚀制绒方法，通过密布多晶硅片表面的混合酸溶液微液滴与硅进行化学反应来刻蚀多晶硅片表面的方法。微液滴通过加热混合酸溶液产生的蒸气在一定温度条件下的多晶硅片表面凝结而成。混合酸溶液由硝酸、氢氟酸和水配制而得。本发明的微液滴刻蚀制绒方法使刻蚀反应仅在表面有微液滴处发生，有很强的选择性，不仅使得刻蚀绒面的减反射效果优于上述常规湿法制绒方法，而且可以对难于制绒的金刚石线锯切割多晶硅表面进行制绒，形成高质量的绒面，使表面光反射率减低到17～21%水平，并消除其切割纹。