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公开(公告)号:CN104332529A
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:CN201410579880.2
申请日:2014-10-27
Applicant: 南昌大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/022425
Abstract: 本发明公开了一种在铝硅熔池中液相外延制备n型晶体硅太阳电池发射极的方法,其特征是首先将含硅12~40%wt、含硼0~5ppmw的铝-硅-硼混合原料熔融,然后将n型硅片置入熔体中生长p型掺杂硅晶体层,生长完毕后取出硅片,最后清洗除去硅片表面粘附铝层。本发明可在n型单晶硅片表面外延生长形成连续均匀的p型晶体硅层,其厚度可在0.5~20μm范围调节;其电阻率可在0.5~10Ω·cm范围调节。
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公开(公告)号:CN104332529B
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201410579880.2
申请日:2014-10-27
Applicant: 南昌大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种在铝硅熔池中液相外延制备n型晶体硅太阳电池发射极的方法,其特征是首先将含硅12~40%wt、含硼0~5ppmw的铝‑硅‑硼混合原料熔融,然后将n型硅片水平放置于熔体表面,在硅片与熔体接触面外延生长p型掺杂硅晶体层,生长完毕后取出硅片,最后清洗除去硅片表面粘附铝层。本发明可在n型单晶硅片表面外延生长形成连续均匀的p型晶体硅层,其厚度可在0.5~20μm范围调节;其电阻率可在0.5~10Ω·cm范围调节。
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