一种利用SF6废气等离子体刻蚀SiO2的系统与方法

    公开(公告)号:CN116059806A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202211620535.X

    申请日:2022-12-15

    Abstract: 本发明公开了一种利用SF6废气等离子体刻蚀SiO2的系统与方法。所述系统中的洗气室、稀释气体压缩室通过流量计和电磁阀与混气室相连,并与放电室相连,放电室分别又与S沉积室、缓冲气室连接,缓冲气室与与吸收室、收集气瓶(SiF4)及Ar稀释气体压缩室相连接。应用本发明可以首先对SF6废气进行初步洗涤,之后根据降解需求形成SF6/H2/稀释气体混合气体,在放电室中发生还原性降解反应并与SiO2发生刻蚀,生成S单质与SiF4气体,经缓冲气室实现杂质气体、SiF4、Ar的分离,实现S单质、SiF4高纯气体收集,以及稀释气体载气的循环利用,确保SF6废气高效、不可逆降解过程实现以及F元素分离后的二次利用。

    用于SF6气体组分紫外-光声复合检测的反应器与检测方法

    公开(公告)号:CN115931761A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211624333.2

    申请日:2022-12-15

    Abstract: 本发明公开了用于SF6气体组分紫外‑光声复合检测的反应器与检测方法。所述反应器包括分别与气体池相连的紫外光源、红外光源,且气体池与紫外光谱仪、功率计相连,气体池内置反射镜与石英音叉,其中石英音叉与信号放大器相连实现信号输出。应用本发明可以改善或解决目前国内现有技术与设计原理在SF6分解组分气体痕量检测领域检测种类限制与检测精度的不足的问题,该方法通过分时复用技术与气体池复合设计,可以基于单一气体池对一组待测气体同时实现紫外光谱检测与光声光谱检测,检测范围涵盖SF6五种主要分解产物SO2、H2S、CS2、SOF2、SO2F2,为SF6气体绝缘设备的多分解组分混合定量检测提供可靠技术参考。

    一种等离子体催化甲烷干重整反应机制的数值模拟方法

    公开(公告)号:CN118211370A

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202410159324.3

    申请日:2024-02-04

    Abstract: 本发明公开一种等离子体催化甲烷干重整反应机制的数值模拟方法,包括:针对原料气体二氧化碳和甲烷气体,建立输入数据文件;将输入数据文件翻译成Fortran代码;编辑等离子体催化甲烷干重整反应机制的数值模拟主程序代码;运行用户代码,实施至少一次反应动力学模拟,得到等离子体催化甲烷干重整模拟过程中所有粒子的密度、粒子源项、反应速率和源项矩阵;进行结果处理和分析,得到所有粒子的生成和消耗规律,分析得到等离子体催化甲烷干重整的反应路径。本发明解决了现有技术中存在的等离子体与催化剂界面化学反应机制难以解析的问题。

    一种等离子体催化甲烷干重整放电特性的数值模拟方法

    公开(公告)号:CN118211369A

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202410159322.4

    申请日:2024-02-04

    Abstract: 本发明公开的一种等离子体催化甲烷干重整放电特性的数值模拟方法,包括:创建等离子体催化甲烷干重整放电装置物理模型,包括电极区域、阻挡介质区域、催化剂区域和等离子体放电区域;设置电极区域、阻挡介质区域、催化剂区域和等离子体放电区域的材料参数;建立等离子体放电区域的化学反应模型;建立等离子体催化甲烷干重整的流体力学模型;设置质量守恒方程、电子平均能量控制方程和泊松方程的求解域和边界条件;对放电装置几何模型进行网格划分;进行求解计算;对仿真结果进行处理,生成电场强度、电子温度、电子密度、电荷密度和重粒子密度的时空分布图。本发明解决了现有技术存在的等离子体和催化剂界面的放电特性难以解析的问题。

    一种基于低温等离子体的SF6循环降解装置与方法

    公开(公告)号:CN114931848B

    公开(公告)日:2023-09-26

    申请号:CN202210609270.7

    申请日:2022-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于低温等离子体的SF6废气循环降解处理装置及方法。所述装置包括包括混合气室、氢气气室、第一放电反应器、第二放电反应器、洗气室、缓冲气室、H2压缩室和SF6/载气压缩室,第一放电反应器和第二放电反应器内能够填充催化剂或反应助剂,第一放电反应器和第二放电反应器并联,且两者的进口端均与混合气室的出口端和氢气气室的出口端管道连接,两者的出口端均与洗气室的进口端管道连接,缓冲气室的进口端与洗气室的出口端管道连接,缓冲气室的出口端、所述H2压缩室和氢气气室依次管道连接,且缓冲气室的出口端、所述SF6/载气压缩室和所述混合气室依次管道连接。本发明具有降解效率高、稳定性好、消耗载气与填充材料少等特点。

    一种基于低温等离子体的SF6循环降解装置与方法

    公开(公告)号:CN114931848A

    公开(公告)日:2022-08-23

    申请号:CN202210609270.7

    申请日:2022-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于低温等离子体的SF6废气循环降解处理装置及方法。所述装置包括包括混合气室、氢气气室、第一放电反应器、第二放电反应器、洗气室、缓冲气室、H2压缩室和SF6/载气压缩室,第一放电反应器和第二放电反应器内能够填充催化剂或反应助剂,第一放电反应器和第二放电反应器并联,且两者的进口端均与混合气室的出口端和氢气气室的出口端管道连接,两者的出口端均与洗气室的进口端管道连接,缓冲气室的进口端与洗气室的出口端管道连接,缓冲气室的出口端、所述H2压缩室和氢气气室依次管道连接,且缓冲气室的出口端、所述SF6/载气压缩室和所述混合气室依次管道连接。本发明具有降解效率高、稳定性好、消耗载气与填充材料少等特点。

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