大面积二维金属光子晶体结构的飞秒激光直写制备方法

    公开(公告)号:CN105108342B

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201510595131.3

    申请日:2015-09-18

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 大面积二维金属光子晶体结构的飞秒激光直写制备方法。本发明提出基于双折射晶体的分光技术获得的共线传输、交叉偏振和具有皮秒时间延迟的同波长双脉冲飞秒激光,通过平凸柱透镜聚焦在金属表面一步式大面积制备形成特征尺寸为亚微米量级周期性分布的二维光子晶体结构的方法和实验装置。二维周期结构图案可通过改变入射激光能量和脉冲数目、以及双折射晶体的厚度和方位角等进行有效调控。本发明利用两束飞秒激光脉冲不同线偏振方向和可变延迟时间特性以及柱透镜聚焦的组合设计,方便快捷地实现在大面积范围内二维金属光子晶体结构的制备。本发明提出的交叉偏振可变时间延迟的双脉冲飞秒激光制备新方法在材料微纳米加工制备领域有着潜在的重要应用。

    大面积二维金属光子晶体结构的飞秒激光直写制备方法

    公开(公告)号:CN105108342A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201510595131.3

    申请日:2015-09-18

    Applicant: 南开大学

    CPC classification number: B23K26/352

    Abstract: 大面积二维金属光子晶体结构的飞秒激光直写制备方法。本发明提出基于双折射晶体的分光技术获得的共线传输、交叉偏振和具有皮秒时间延迟的同波长双脉冲飞秒激光,通过平凸柱透镜聚焦在金属表面一步式大面积制备形成特征尺寸为亚微米量级周期性分布的二维光子晶体结构的方法和实验装置。二维周期结构图案可通过改变入射激光能量和脉冲数目、以及双折射晶体的厚度和方位角等进行有效调控。本发明利用两束飞秒激光脉冲不同线偏振方向和可变延迟时间特性以及柱透镜聚焦的组合设计,方便快捷地实现在大面积范围内二维金属光子晶体结构的制备。本发明提出的交叉偏振可变时间延迟的双脉冲飞秒激光制备新方法在材料微纳米加工制备领域有着潜在的重要应用。

    双波长飞秒激光制备二维周期金属颗粒阵列结构的方法

    公开(公告)号:CN103862171B

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201410122538.X

    申请日:2014-03-28

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 双波长飞秒激光制备二维周期金属颗粒阵列结构的方法。本发明提出利用聚焦双色飞秒激光脉冲在金属表面制备二维周期颗粒阵列结构的方法和实现装置,其特点为金属颗粒结构在两维方向上呈周期性亚微米量级分布。通过采用非线性倍频技术实现不同特征参数的双色飞秒激光,并经共路或分路的时间延迟后由同一光学元件共线聚焦照射在样品上,形成的二维周期结构图案可通过改变倍频晶体的方位角和双色激光的功率配比等进行有效调控。本发明的优点是:利用飞秒激光不同波长和偏振特性的组合设计,方便快捷地实现亚微米量级二维周期金属颗粒阵列结构的制备。本发明提出的双色飞秒激光制备新方法在材料微纳米加工领域有着潜在的重要应用。

    利用激光制备微结构靶提高激光推进冲量耦合系数的方法

    公开(公告)号:CN102179622A

    公开(公告)日:2011-09-14

    申请号:CN201110087843.6

    申请日:2011-04-08

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 利用激光制备微结构靶提高激光推进冲量耦合系数的方法。本发明提出利用聚焦近红外飞秒激光脉冲对烧蚀激光推进技术中的固体靶进行预加工处理,使其表面产生多种形态的微结构来有效增强其冲量耦合系数的方法。飞秒激光脉冲制备的微结构固体靶包括多种类型的有利于增强光吸收的突起结构和沟槽结构。利用实验建立的高灵敏度扭秤精密测量装置获知在0.6-100焦耳/平方厘米的激光通量变化范围内,这些微结构固体靶比未经飞秒激光预处理的普通平面靶的冲量耦合系数提高约170%。本发明提出的有效增强激光烧蚀过程中光能到机械能转换的新方法在激光推进技术领域有着潜在的重要应用。

    一种利用飞秒激光在金属材料表面制备微/纳结构的方法

    公开(公告)号:CN101380693A

    公开(公告)日:2009-03-11

    申请号:CN200810152327.5

    申请日:2008-10-14

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 一种利用飞秒激光在金属材料表面制备微/纳结构的方法,其制备步骤如下:将金属材料表面进行机械打磨和抛光后,用去离子水超声清洗干净;采用飞秒激光工艺,即在空气环境中,使用10×显微物镜将入射的飞秒激光脉冲垂直聚焦在上述材料表面,焦点处的激光束半径为5微米,并将材料表面沿逆光束方向调整至距离物镜焦平面10~250微米的位置处,即可在金属材料表面诱导产生微/纳结构。本发明的优点是:工艺简单、方便实用且无污染、可在宽光谱范围提高和增强材料的热辐射效率。

    利用激光制备微结构靶提高激光推进冲量耦合系数的方法

    公开(公告)号:CN102179622B

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201110087843.6

    申请日:2011-04-08

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 利用激光制备微结构靶提高激光推进冲量耦合系数的方法。本发明提出利用聚焦近红外飞秒激光脉冲对烧蚀激光推进技术中的固体靶进行预加工处理,使其表面产生多种形态的微结构来有效增强其冲量耦合系数的方法。飞秒激光脉冲制备的微结构固体靶包括多种类型的有利于增强光吸收的突起结构和沟槽结构。利用实验建立的高灵敏度扭秤精密测量装置获知在0.6-100焦耳/平方厘米的激光通量变化范围内,这些微结构固体靶比未经飞秒激光预处理的普通平面靶的冲量耦合系数提高约170%。本发明提出的有效增强激光烧蚀过程中光能到机械能转换的新方法在激光推进技术领域有着潜在的重要应用。

Patent Agency Ranking