公开(公告)号：CN105349966A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201510670221.4

申请日：2015-10-15

Applicant: 南开大学

Inventor： 陈新亮 ,  张晓丹 ,  刘杰铭 ,  赵颖

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/02 ,  H01L31/0224

CPC classification number: C23C16/02 ,  C23C16/0227 ,  C23C16/407 ,  H01L31/022483

Abstract: 一种绒面复合结构ZnO-TCO薄膜的制备方法及应用，所述绒面结构ZnO-TCO薄膜的结构特征为微米级绒面玻璃/MOCVD-ZnO:B纳米薄膜，制备步骤是：1)先用去离子水和稀盐酸(HCl)溶液对玻璃表面进行清洗，然后采用蒙砂粉进行蒙砂刻蚀；抛光次数为1-12次，形成微米级尺寸绒面玻璃，特征尺寸～5至25μm；2)以二乙基锌(DEZn)和水(H2O)为原料，氢稀释浓度为1.0％的硼烷B2H6作为掺杂气体，利用MOCVD技术在上述粗糙微米玻璃上生长纳米尺寸(～300-800nm)高电导ZnO:B透明导电薄膜，薄膜厚度为1000-3000nm。本发明的优点是：成本低廉，可实现微纳米尺寸复合结构的ZnO薄膜，提高光散射能力，用于pin型Si基叠层薄膜太阳电池，可实现较高光电转化效率。